"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование пленок аморфного гидрированного нитрида кремния, полученных в плазме высокачастотного разряда
Абрамов А.С.1, Виноградов А.Я.1, Голубев В.Г.1, Косарев А.И.1, Матюшкина М.А.1, Пацекин А.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 21 ноября 1995 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.

Исследованы пленки a-SiNx : H, полученные методом осаждения в плазме емкостного тлеющего разряда на повышенной частоте 55 МГц из смеси силан+азот. Обнаружено, что при выращивании a-SiNx : H на частоте 55 МГц по сравнению с 13.56 МГц требуются меньшие концентрации азота в рабочих смесях, чтобы проявилось влияние азота на электронные свойства получаемых пленок. Наблюдалось изменение электронных свойств исследованных пленок с изменением содержания азота в газовой фазе X= [N]/[Si]. Данные инфракрасной спектроскопии показали, что водород формирует химические связи преимущественно с кремнием. Азот в пленках, полученных при X<8, по-видимому, ведет себя как примесь, образующая химическую связь с решеткой кремния, тогда как при X>8 образуется широкозонный сплав типа a-SiNx : H.
  • M. Tsukuda, S. Nata, Y. Kohda, S. Miyazaki, M. Hirose. J. Non-Cryst. Sol., 97--98, 317 (1987)
  • M. Swartz, K.K. Kitamura, M. Vijan, J. Mebill, V. Cnnola, Z. Yaniv. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 95, 635 (1987)
  • M. Yoshimi, T. Ishiko, K. Hattovi, H. Okamoto, Y. Hamakawa. J. Non-Cryst. Sol., 137--138, 1283 (1991)
  • T.Futagi, N. Ohtani, M. Katsuno, K. Kawamura, Y. Ohta, H. Mimura, K.Kitamura. J. Non-Cryst. Sol., 137--138, 1271 (1991)
  • D. Rvuanghara, W. Boonkosum, P. Siamchai, S. Panya. \it Conf. Sol. St. Dev. (Mater. Business Cent. for Acad. Soc. Japan, Tokio, 1992) p. 563
  • S.Hasegava, S. Narikava, Y. Kurata. Phil. Mag. B, 48, 431 (1983)
  • W.Y. Xu, Z.L. Sun, Z.P. Wang. J. de Phys., 42 (Suppl. C4), N 2, 695 (1981)
  • K.S. Frolov, A.F. Koganov, A.S. Smirnov, L.D. Tsendin, A.Yu. Ustavshikov, A.J. Vinogradov. \it XXI Int. Conf. Prenom. in Ionized Gases (Bohum, 1993) p. 53
  • R. Karcher, L. Ley. Phys. Rev. B, 30, 1984 (1986)
  • A. Morimoto, Y. Tsujimura, M. Kumeda, T. Shimizu. Japan. J. Appl. Phys., 24, 1394 (1985)
  • D.V. Tsu, G.L. Lucovsky, M.J. Mantini. Phys. Rev. B, 33, 7069 (1986)
  • M. Vanecek, J. Kocka, S. Stuchlik, Z. Kozisek, O. Stika, A. Triska. Sol. Energy Mater., N 8, 411 (1983)
  • A.I. Kosarev, A.G. Kovrov, R.A.G. Gibson, P.G. LeComber, T.A. Sidorova, A.Y. Vinogradov. J. Non-Cryst. Sol., 137--138, 371 (1991)
  • А.В. Раков. \it Спектрофотометрия тонкопленочных полупроводниковых структур (М., Сов. радио, 1975)
  • R. Tsu, W. Howard, L. Esaki. Phys. Rev., 172, 779 (1968)
  • H. Shanks, C.J. Fang, L. Ley, M. Cardona, F.J. Demond, S. Kolbitzer. Phys. St. Sol. (b), 100, 43 (1980)
  • H.R. Shanks, F.R. Jeffrey, M.E. Sowry, J. de Phys., 42 (Suppl. C4), N 2, 773 (1981)
  • Rang-Cheng Lin, Si-Chen Lee. J. Appl. Phys., 72, 5474 (1992)
  • G. Lucovsky. Sol. St. Commun., 29, 571 (1979)
  • G. Lucovsky. Solar Cell, 2, 431 (1980)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.