Накопление дефектов в Si при последовательном облучении ионами аргона и азота. (Молекулярный эффект)
Аброян И.А.1, Никулина Л.М.1
1Государственный технический университет Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 21 февраля 1996 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.
Исследовалось накопление дефектов в Si с ориентацией (111) при бомбардировке атомарными и молекулярными ионами азота N+1 и N+2 с энергией 30 кэВ/атом. В исследуемых образцах предварительно создавались радиационнные дефекты ионами аргона. Обнаружено, что ион N+2 создает больше дефектов, чем два иона N+1. Необходимым условием этого молекулярного эффекта является предварительное введение в Si радиационных повреждений.
- И.А. Аброян, В.С. Беляков, А.И. Титов, А.В. Хлебалкин. \it Тр. VII межд. конф. по атомным столкновениям в твердых телах, 19--23 сентября 1977, Москва (М., Изд-во МГУ, 1980) т. 2, с. 247
- И.А. Аброян, Л.М. Никулина. \it Тез. докл. XXV межд. конф. по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (М., Изд-во МГУ, 1995) с. 98
- А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, М.М. Темкин. \it Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах (М., Энергоатомиздат, 1985)
- И.А. Аброян, Л.М. Никулина, А.И. Титов. ФТП, 19, 1030 (1985)
- J.A. Moore, G. Carter, A.W. Tinsley. Rad. Eff., 25, 49 (1975)
- D.A. Thompson, R.S. Walker. Nucl. Instrum. Meth., 132, 281 (1976)
- D.A. Thompson, R.S. Walker. Rad. Eff., 36, 91 (1978)
- R.S. Walker, D.A. Thompson. Rad. Eff., 37, 113 (1978)
- Дж.А. Дэвис. В сб.: \it Ионная имплантация и лучевая технология (Киев, Наук. думка, 1988) с. 72. [Пер. с англ. под ред. О.В. Снитко: \it Ion Implantation and Beam Processing, ed. by T.S. Williams, J.M. Poate (Academic Press, 1984)]
- И.А. Аброян, Л.М. Никулина. \it Матер. XII Межд. конф. "Взаимодействие ионов с поверхностью" (Звенигород, Россия, 1995) т. 2, с. 285
- G. Foti, G. Vitali, J.A. Davies. Rad. Eff., 32, 132 (1977)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук