"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Диоды на основе 6 H-SiC, полученные совмещением газотранспортной и сублимационной эпитаксии
Лебедев А.А.1, Мальцев А.А.1, Полетаев Н.К.1, Растегаева М.Г.1, Савкина Н.С.1, Стрельчук А.М.1, Челноков В.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 ноября 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.

Сообщается о совмещении сублимационной и газотранспортной эпитаксии для получения диодов на основе 6H-SiC. Показано, что параметры полученных ''комбинированных'' структур не уступают, и в некоторых случаях превосходят параметры диодов, изготовленные одним из указанных методов.
  • J.W. Palmour, J.A. Edmond, H.S. Kong, C.H. Carter Jr. Physica B, 185, 461 (1993)
  • M.M. Anikin, P.A. Ivanov, A.A. Lebedev, S.N. Pyatko, A.M. Strel'chuk. In: \it Semiconductor Interfaces and Microstructures, ed. by Z.C. Feng (World Scientific, Singapore, 1990) p. 280
  • M.M. Anikin, P.A. Ivanov, A.A. Lebedev, S.N. Pyatko, A.M. Strel'chuk, A.L. Syrkin. Mater. Sci. Engin., B11, 113 (1992)
  • И.В. Попов, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. Письма ЖТФ, 12, 240 (1985)
  • А.А. Лебедев, А.Н. Андреев, А.А. Мальцев, М.Г. Растегаева, Н.С. Савкина, В.Е. Челноков. ФТП, 29, 1635 (1995)
  • M. Ikeda, H. Matsunami, T. Tanaka. Phys. Rev. B, 22, 2842 (1980)
  • В.И. Павличенко, И.В. Рыжиков, Ю.М. Сулейманов, Ю.М. Шейдак. ФТТ, 10, 2801 (1968)
  • М.М. Аникин, Н.И. Кузнецов, А.А. Лебедев, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин. ФТП, 24, 1384 (1990)
  • А.Н. Андреев, М.М. Аникин, А.А. Лебедев, Н.К. Полетаев, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. ФТП, 28, 729 (1994)
  • М.М. Аникин, Н.И. Кузнецов, А.А. Лебедев, Н.К. Полетаев, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. ФТП, 28, 443 (1994)
  • J.A. Edmond, H.-S. Kong, C.H. Carter Jr. Physica B, 185, 4536 (1993)
  • А.А. Лебедев, Н.К. Полетаев, М.Г. Растегаева, Н.С. Савкина. ФТП, 28, 1769 (1994)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.