"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние неравномерного по площади распределения примеси на определение ее концентрации
Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 19 июля 1995 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1996 г.

При неравномерном по площади легировании полупроводника концентрация мелкой примеси N, определенная из вольт-фарадных характеристик диодов, всегда меньше средней по площади концентрации примеси. Возможна значительная разница в величине N, полученной при измерении различными методами.
  • Г. Хениш. \it Полупроводниковые выпрямители (М., Изд-во иностр. лит., 1951)
  • Л.С. Берман, А.А. Лебедев. \it Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках (Л., Наука, 1981)
  • В.В. Батавин, Ю.А. Концевой, Ю.В. Федорович. \it Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур (М., Радио и связь, 1985)
  • А.А. Лебедев, Н.А. Соболев, Б.М. Урунбаев. ФТП, 16, 1874 (1982)
  • Е.В. Астрова, А.А. Лебедев, А.А. Лебедев. ФТП, 19, 1382 (1985)
  • Э. Беккенбах, Р. Белламан. Неравенства (М., Мир, 1965)
  • А.Г. Цыпкин, Г.Г. Цыпкин. \it Математические формулы (М., Наука, 1985)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.