"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Структурная модификация пленок аморфного гидрогенизированного кремния при использовании ультрафиолетового излучения
Попов И.А.1
1Московский энергетический институт, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 14 сентября 1994 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 1996 г.

Свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного кремния зависят как от химического состава, так и от структурных особенностей. Предлагается метод управления свойствами пленок a-Si:H путем модификации подсистемы дефектных состояний. Наблюдаемые эффекты рассматриваются в рамках модели локализованных фононов.
  • О.А. Голикова. ФТП, 25, 1517 (1991)
  • А.А. Айвазов, Б.Г. Будагян, Д.А. Стряхилев. ФТП, 25, 1802 (1991)
  • A.I. Popov, N.I. Michalev, V.K. Shemetova. Phil. Mag. B, 47, 73 (1983)
  • D. Adler. In: \it Physical properties of amorphous materials, ed by D.Alder (Plenum Press, 1985)
  • P. Bruecsch. \it Phonons: Theory and Experiments, II (Springer Verlag, 1986)
  • G. Lucovshy. In: \it Physical properties of amorphous materials, ed by D.Alder (Plenum Press, 1985)
  • D.N. Payton, W.M. Vischer. Phys. Rev., 154, 802 (1967)
  • G. Gautman, D. Joydeep, R. Swati, A.K. Barua. Appl. Phys. Lett., 55, 1975 (1989)
  • И.А. Попов, В.А. Рудаков, Б.П. Черноротов. Мат. сем. \it"Аморфные гидрированные полупроводники" (Л., 1991) с. 61
  • Э.Н. Воронков, И.А. Попов, Б.П. Черноротов. Мат. сем. \it"Аморфные гидрированные полупроводники" (Л., 1991) с. 88
  • И.А. Попов, К.В. Рязанов. Мат. сем. \it"Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах" (М., МНТОРЭС, 1993) с. 63
  • И.А. Попов, Л.Д. Назарова. ФТП, 28, 975 (1994)
  • Б.И. Казуров, Э.Н. Воронков, И.А. Попов, Б.П. Черноротов. Электронная промышленность, N 3, 25 (1993)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.