"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование пористого карбида кремния методами колебательной и люминесцентной спектроскопии
Данишевский А.М.1, Шуман В.Б.1, Рогачев А.Ю.1, Иванов П.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1995 г.

Образцы пористого карбида кремния, изготовленные анодным травлением исходных кристаллов 6H-SiC n-типа проводимости, исследованы методами инфракрасного отражения, комбинационного рассеяния, импульсной и непрерывной фотолюминесценции. В пористом слое обнаружена фаза beta-SiC, и сделана попытка найти корреляцию между объемом этой фазы и амплитудой широкой полосы непрерывной красно-зеленой фотолюминесценции, возникающей в пористом слое. Выяснено, что образцы, изготовленные в разных условиях, представляют собой две группы: в одной из них упомянутая корреляция, по-видимому, существует, а в другой она полностью отсутствует. Высказано предположение, что причиной интенсивной фотолюминесценции во второй группе образцов являются некие центры (дефекты), возникающие при травлении.
  • J.S. Shor, I. Grimberg, Ben-Zion Weiss, A.D. Kurtz. Appl. Phys. Lett., 22, 2836 (1993)
  • T. Matsumoto, J. Takahashi, T. Tamaki, T. Futagi, H. Mimura, Y. Kanemitsu. Appl. Phys. lett., 64, 226 (1994)
  • А.А. Лебедев, А.А. Лебедев, Ю.В. Рудь. Письма ЖЭТФ (1995)
  • R.T. Holm, P.H. Klein, E.R. Nordquist. J. Appl. Phys., 60, 1479 (1976)
  • S.-L. Zhang, X. Wang. K.-S. Ho. J. Appl. Phys., 76, 3016 (1994)
  • Дж. Люковски, Н. Поллард. В сб.: \it Физика гидрогенизированного аморфного кремния (1988) вып. 2, с. 377
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.