Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние марганца на диффузионное распределение никеля в кремнии
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 3 августа 1994 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1995 г.
С использованием радиоактивной методики проведено исследование влияния диффузии марганца из слоя на поверхности кремния на концентрационное распределение 63Ni в кремнии, предварительно легированном никелем диффузионным способом при 1200oC в течение 2 ч. Полученные данные свидетельствуют о резком уменьшении (на порядок) концентрации никеля в объеме кремния в результате повторного отжига образцов со слоем марганца на поверхности, что объясняется геттерирующим эффектом, создаваемым слоем марганца и приповерхностным слоем образца, содержащим кластеры силицидных образований.
- E.R. Weber. Appl. Phys. A, 30, 1 (1983)
- N. Wiehl, U. Herpers, E. Weber. J. Radioanal. Chem., 72, 69 (1982)
- Y. Tokumaru. Japan. J. Appl. Phys., 2, 542 (1963)
- M. Yoshida, K. Furusho. Japan. J. Appl. Phys., 3, 521 (1964)
- H.P. Bonzel. Phys. St. Sol., 20, 493 (1967)
- M. Yoshida, K. Saito. Japan. J. Appl. Phys., 6, 573 (1967)
- М.К. Бахадырханов. Автореф. канд. дис. (Л., 1971)
- H. Kitagawa, K. Hashimoto, M. Yoshida. Japan. J. Appl. Phys., 21, 276 (1982)
- В.А. Усков, А.Б. Федотов, А.И. Родионов, Н.С. Думаревская. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 20, 1148 (1984)
- Ш. Мьюрарка. Силициды для СБИС (М., 1986)
- Г.В. Самсонов, Л.А. Дворина, Б.М. Руд. \it Силициды (М., 1979)
- G.J. Huang, L.J. Chen. J. Appl. Phys., 74, 1001 (1993)
- W.H. Wang, H.J. Bai. J. Appl. Phys., 74, 2471 (1993)
- М.К. Бахадырханов, С. Зейнабидинов, А.Т. Тешабаев, М.А. Ходжаева. ФТП. 20, 1001 (1976)
- Р.Ф. Витман, Н.Б. Гусева, А.А. Лебедев, Э.С. Таптыгов. Препринт N 1221, ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН (Л., 1988)
- С. Зайнабидинов, К.П. Абдурахманов, А.А. Лебедев, Х.С. Далиев, Ш.Б. Утамурадова, М.Д. Ходжаев, А.Т. Тешабаев. В кн.: \it Свойства легированных полупроводниковых материалов, (М., 1990)
- К.П. Абдурахманов, Г.С. Куликов, А.А. Лебедев, Ш.Б. Утамурадова, Ш.А. Юсупова. ФТП, 25, 1075 (1991)
- Б.И. Болтакс, М.К. Бахадырханов, С.М. Городецкий, Г.С.Куликов. \it Компенированный кремний, (Л., 1972)
- К. Адамбаев, В.К. Зайцев, Т.С. Камилов, Г.С. Куликов, Д.Э. Назыров, С.В. Ордин. Поверхность. Физика, химия, механика, вып. 7, 66 (1988)
- К.П. Абдурахманов, Х.С. Далиев, Г.С. Куликов, А.А. Лебедев, Ш.Б. Утамурадова, Ш.А. Юсупова. ФТП, 27, 1222 (1993)
- П.В. Гельд, Ф.А. Сидоренко. \it Силициды переходных металлов четвертого периода (М., 1971)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
