Антонова И.В.1, Шаймеев С.С.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Выставление онлайн: 20 декабря 1994 г.
Проведено исследование диффузии атомов золота из пленки, нанесенной на поверхность кремниевой пластины, при облучении потоком ионов обратной стороны полупроводниковой пластины. Показано, что воздействие ионами (Ne+, 100 кэВ) способствует вытеснению атомов золота из регулярного положения и препятствует диффузии Au из приповерхностной области в объем образца. Аналогичный эффект получен при возбуждении акустической волны в кристалле. Предполагается, что наблюдаемый при облучении эффект связан с упругими волнами, возникающими при торможении ионов.
- В.Д. Скупов, Д.И. Тетельбаум, Г.В. Шенгуров. Письма ЖТФ, 22, 44 (1989)
- Н.Т. Квасов, К.Ю. Ярашюнас, С.Ф. Спижук, С.Ю. Шилина. Физика и химия обраб. материалов, 5, 9 (1990)
- П.В. Павлов, В.Д. Скупов, Д.И. Тетельбаум. Физика и химия обраб. материалов, 6, 19 (1987)
- В.П. Грабчак, Л.И. Сальников, Е.И. Филиппов. Электрон. техн., сер. 3, Микроэлектроника, 3, 56 (1968)
- Н.Т. Баграев, В.С. Вихнин. ЖЭТФ, 86, 200 (1984)
- S.M. Sze. \it Physics of Semiconductor Devices (N.Y., 1981)
- Р.Ш. Малкович, В.А. Машина, Н.П. Нистерюк. ФТТ, 14, 3678 (1977)
- \it Атомная диффузия в полупроводниках, под ред. Д.Шоу (М., 1975)
- J. Vanhellemont, A. Roano-Rodriuez. Appl. Phys. A, 57, 521 (1993)
- Дж. Такер, В. Ремптон. \it Гиперзвук в физике твердого тела (М., 1975)
- И.В. Островский, О.А. Коротченков, В.А. Лысых. ФТТ, 29, 2153 (1987)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
