Проводимость и оптические свойства периодических структур a-Si:H/ a-SiN x:H
Биленко Д.И.1, Галишникова Ю.Н.1, Жаркова Э.А.1, Колдобанова О.Ю.1, Хасина Е.И.1
1Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете им. Н.Г.Чернышевского,, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 12 мая 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1994 г.
Сообщаются результаты исследования проводимости и оптических свойств периодических структур a-Si:H/a-SiNx:H и отдельных слоев как в процессе роста, так и после изготовления. Установлено влияние состава слоев в структурах и их толщины на процесс легирования переносом, выбраны условия для получения структур с минимальной плотностью состояний в a-Si:H и высокой проводимостью. Обнаруженная зависимость оптических свойств структур от толщины слоев описывается на основе модели квантовых ям.
- T. Tiedje, B. Abeles. Appl. Phys. Lett., \bf45, 179 (1984)
- M. Tsukude, S. Akamatsu, S. Miyazaki, M. Hirose. Japan. J. Appl. Phys., \bf26, L111 (1987)
- B. Abeles. Superlatt. Microstruct., 5, 473 (1989)
- D.I. Bylenko, Y.N. Galishnikova, A.A. Jarkova, O.Y. Koldobanova, I.B. Mysenko, E.I. Khasina. \it Proc. Int. Semicond. Dev. Res. Symp. (1991) p. 758
- Д.И. Биленко, Ю.Н. Галишникова, Э.А. Жаркова, О.Ю. Колдобанова, И.И. Николаева. Письма ЖТФ, \bf15, 64 (1989)
- П.Х. Бернинг. \it Теория и методы расчета оптических свойств тонких пленок, под ред. Р.Хасса (М., 1967) ч. 1, с. 243
- Ю.П. Ситолите. Литов. физ. сб., 51, 207 (1986)
- \it Нитрид кремния в электронике, под ред. А.В.Ржанова (Новосибирск, 1982) p. 200
- B. Abeles, T. Tiedje. Phys. Rev. Lett., \bf51, 2003 (1983)
- F. Demichelis, G. Kamadakis, Thin. Sol. Films, \bf150, 1 (1987)
- K. Hattori, T. Mori. Phys. Rev. Lett., \bf60, 825 (1988)
- W. Wang, K. Liao. Sol. St. Commun., 62, 749 (1987)
- M. Vanv ecv ek, J. Kov cka, J. Stuchilik, A. Triska. Sol. St. Commun., \bf39, 1199 (1981)
- Д.И. Биленко, Ю.Н. Галишникова, Э.А. Жаркова, О.Ю. Колдобанова, Е.И. Хасина. Микроэлектроника, \bf18, 36 (1989)
- Л.А. Балагуров. ФТТ, 31, 2105 (1989)
- J.P. Xanthakis, S. Papadopoulos, P.R. Mason. J. Phys. C, Sol. St. Phys., \bf21, L555 (1989)
- R.A. Street, M.J. Thompson, N.M. Johnson, Phil. Mag. B, \bf51, 1 (1985)
- J. Kakakios, H. Fritzsche, N. Ibaraki. J. Non-Cryst. Sol., \bf66, 339 (1984)
- Л.Д. Ландау, Е.Н. Лифшиц. \it Квантовая механика (М., Наука, 1974)
- \it Физика гидрогенизированного аморфного кремния, под ред. Джоупопулоса и Дж.Люковски (М., 1988)
- \it Электронная теория неупорядоченных полупроводников (М., Наука, 1981)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук