"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние концентрации азота на микроструктуру и темновую проводимость пленок alpha-Si1-xNx:H
Будагян Б.Г.1, Айвазов А.А.1, Сазонов А.Ю.1
1Московский институт электронной техники,, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 29 октября 1992 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1993 г.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.