ФТП, 2010, том 44, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние температуры роста на свойства прозрачных проводящих пленок ZnO, легированных галлием

А.Х.Абдуев, А.К.Ахмедов, А.Ш.Асваров\kern1pt, А.А.Абдуллаев, С.Н.Сульянов\kern1pt*

Институт физики им. Х.И. Амирханова Дагестанского научного центра Российской академии наук,
367003 Махачкала, Россия
* Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова Российской академии наук,
119333 Москва, Россия

(Получена 3 марта 2009 г. Принята к печати 9 апреля 2009 г.)

Прозрачные проводящие пленки ZnO, легированные галлием, получены на стеклянных подложках методом магнетронного распыления проводящих керамических мишеней. Проведены исследования зависимости структурных, электрических, оптических характеристик пленок ZnO : Ga от температуры подложки в ходе осаждения. Рассмотрена стабильность удельного сопротивления пленок при отжиге на воздухе. Обнаружено, что минимальное удельное сопротивление 3.8·10-4 Ом·см имеют пленки, осажденные при температуре подложки 250oC, а наибольшей термостабильностью обладают пленки, осажденные при 200oC.

 PDF версия (1.1Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster