ФТП, 2009, том 43, выпуск 12

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Получение текстурированных пленок нитрида алюминия методом термохимической нитридизации сапфира

Х.Ш-о.Калтаев, Н.С.Сидельникова, С.В.Нижанковский, А.Я.Данько , М.А.Ром,
П.В.Матейченко, М.В.Добротворская, А.Т.Будников

Институт монокристаллов Национальной академии наук Украины,
61001 Харьков, Украина

(Получена 7 апреля 2009 г. Принята к печати 14 апреля 2009 г.)

Показана возможность получения текстурированных пленок нитрида алюминия методом термохимической нитридизации сапфира в диапазоне температур 1200-1500oC в атмосфере азота с содержанием CO от 0.1 до 5 об%. Установлен диффузионный механизм формирования пленки нитрида алюминия на поверхности сапфира под воздействием восстановительной среды.

PACS: 68.55.Ag, 81.05.Ea, 81.15.Np.

 PDF версия (856Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster