ФТП, 2009, том 43, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Радиационные эффекты в многослойных
омических контактах Au-Ti-Al-Ti-n-GaN

А.Е.Беляев, Н.С.Болтовец\kern1pt$, В.Н.Иванов\kern1pt*, Л.М.Капитанчук\kern1pt$, Р.В.Конакова\kern1pt, Я.Я.Кудрик,
О.С.Литвин, В.В.Миленин, В.Н.Шеремет, Ю.Н.Свешников\kern1pt

Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины,
03028 Киев, Украина
* Государственное предприятие Научно-исследовательский институт \glqq Орион\grqq,
03057 Киев, Украина
$ Институт электросварки им. Е.О. Патона Национальной академии наук Украины,
03680 Киев, Украина
ЗАО << Элма-Малахит>>,
124460 Зеленоград, Россия

(Получена 15 октября 2008 г. Принята к печати 13 ноября 2008 г.)

Рассмотрены радиационные эффекты в многослойной металлизации Au-Ti-Al-Ti-n-GaN при воздействии gamma-квантов 60Co в диапазоне доз 4·106-2·107 Гр на исходные и подвергнутые кратковременному высокотемпературному отжигу в атмосфере азота контактные структуры. Радиационные воздействя не оказывают существенного влияния на свойства структур, не подвергнутых термообработкам. Кратковременный отжиг при 700oC приводит к разрушению слоевой структуры контактов. Морфологические и структурные трансформации в контактной металлизации, вызванные термоотжигом, усиливаются при радиационных воздействиях. Комбинированная радиационно-термическая обработка способствует усилению массопереноса между контактирующими слоями. Кроме того, после облучения до дозы 2·107 Гр примесные атомы кислорода пронизывают всю контактную структуру и в значительном количестве наблюдаются в приконтактной области GaN.

PACS: 85.40.Ls; 85.30.Hi

 PDF версия (1.8Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster