ФТП, 2009, том 43, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Связь между измеряемыми токами и зарядами в образце при диагностике неоднородных диэлектрических пленок

С.Г.Дмитриев

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники Российской академии наук,
141190 Фрязино, Россия

(Получена 24 марта 2008 г. Принята к печати 17 ноября 2008 г.)

Представлено соотношение между измеряемыми токами и токами в образце при диагностике неоднородных диэлектрических пленок. Рассмотрены примеры с многослойными структурами и квазистатическими методами диагностики, с учетом токов через границы раздела пленки и другие примеры.

PACS: 73.40.Qv, 82.32.-y, 84.37.+q

 PDF версия (491Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster