ФТП, 2008, том 42, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Кинетика формирования различных типов водородсодержащих доноров в кремнии, имплантированном протонами

Ю.М.Покотило , А.Н.Петух, О.А.Дзичковский

Белорусский государственный университет,
220050 Минск, Белоруссия

(Получена 13 ноября 2007 г. Принята к печати 4 декабря 2007 г.)

Методом C-V-характеристик исследована кинетика накопления двойного и мелкого водородсодержащих доноров в эпитаксиальном кремнии, имплантированном протонами. Показано, что кинетика описывается реакциями 1-го порядка. Определены энергии активации Delta E1=2.3 эВ, Delta E2=1.4 эВ и предэкспоненциальные факторы tau01=9.1·10-17 с, tau02=4.2·10-9 с для обоих типов доноров соответственно. Показано, что бистабильность электрических свойств кремния обусловлена двойным водородсодержащим донором.

PACS: 81.05.Cy, 81.40.Wx, 61.72.Ss, 61.80.Fe

 PDF версия (140Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster