ФТП, 2005, том 39, выпуск 11

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Роль исходного легирования в эффекте изменения концентрации носителей заряда в пористом кремнии при адсорбции
молекул аммиака

А.В.Павликов , Л.А.Осминкина, И.А.Белогорохов, Е.А.Константинова, А.И.Ефимова,
В.Ю.Тимошенко, П.К.Кашкаров

Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет),
119992 Москва, Россия

(Получена 1 декабря 2004 г. Принята к печати 18 марта 2005 г.)

Методом инфракрасной спектроскопии исследовано влияние адсорбции молекул аммиака на концентрацию равновесных носителей заряда в слоях пористого кремния с различным исходным типом легирующей примеси и значением ее концентрации. Обнаружено, что в образцах n-типа адсорбция аммиака ведет к увеличению количества свободных электронов до уровня, превышающего 1018 см-3. Для образцов p-типа наблюдается немонотонная зависимость концентрации носителей заряда от давления аммиака. Полученные результаты объясняются появлением адсорбционно-индуцированных мелких донорных состояний, которые наряду с состояниями исходной легирующей примеси и поверхностных дефектов определяют тип и концентрацию носителей заряда в кремниевых нанокристаллах пористого слоя после адсорбции аммиака.

 PDF версия (192Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster