| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Исследование физических механизмов лазерной коррекции
и стабилизации параметров структур Al-SiAl
с барьером Шоттки
Г.И.Воробец, М.М.Воробец, В.Н.Стребежев, Е.В.Бузанeва, А.Г.Шкавро
Черновицкий национальный университет им. Ю. Федьковича (физический факультет),
58012 Черновцы, Украина
Киевский национальный университет им. Т. Шевченко (радиофизический факультет),
01017 Киев, Украина
(Получена 17 июля 2003 г. Принята к печати 25 сентября 2003 г.)
| Методами оптической и растровой электронной микроскопии в сочетании с послойным химическим травлением исследованы физические процессы твердофазной диффузии в сформированных на свободной поверхности кремния и в окнах SiO бескорпусных тонкопленочных структурах Al-SiAl с барьером Шоттки при импульсном лазерном облучении. |
| PDF версия (127Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2004, Коллектив авторов Разработано... webmaster |