Вышедшие номера
Исследование физических механизмов лазерной коррекции и стабилизации параметров структур Al-n-n+-Si-Al с барьером Шоттки
Воробец Г.И.1, Воробец М.М.1, Стребежев В.Н.1, Бузанeва Е.В.2, Шкавро А.Г.2
1Черновицкий национальный университет им. Ю. Федьковича (физический факультет), Черновцы, Украина
2Киевский национальный университет им. Т. Шевченко (радиофизический факультет), Киев, Украина
Поступила в редакцию: 17 июля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2004 г.

Методами оптической и растровой электронной микроскопии в сочетании с послойным химическим травлением исследованы физические процессы твердофазной диффузии в сформированных на свободной поверхности кремния и в окнах SiO2 бескорпусных тонкопленочных структурах Al-n-n+-Si-Al с барьером Шоттки при импульсном лазерном облучении.