| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Тензорезистивный эффект в слоях пористого кремния
с различной морфологией
С.П.Зимин, А.Н.Брагин
Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова,
150000 Ярославль, Россия
(Получена 22 июля 2003 г. Принята к печати 25 сентября 2003 г.)
|
Исследовано влияние упругой деформации изгиба на электропроводность пористого кремния с различной морфологией пор и с различными свойствами обедненных областей вокруг пор. Пористые слои были сформированы методом анодного электрохимического травления на кремниевых пластинах - и -типа проводимости и обладали пористостью %. Показано, что характер наблюдаемых изменений электропроводности пористого кремния при деформации зависит от структурных особенностей пористого материала. Для объяснения полученных результатов использованы различные физические модели переноса носителей заряда в пористом кремнии.
|
| PDF версия (135Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2004, Коллектив авторов Разработано... webmaster |