ФТП, 2004, том 38, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Моделирование концентрационной зависимости
диффузии бора в кремнии

О.В.Александров

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет,
197376 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 27 мая 2003 г. Принята к печати 18 июня 2003 г.)

На основе дуального парного механизма промоделирована диффузия бора в кремнии при высокой поверхностной концентрации. Проведено сравнение расчетов с экспериментальными данными и с расчетами по модели SUPREM-3. Показано, что модель позволяет описать концентрационные профили и концентрационную зависимость коэффициента диффузии бора в широком интервале температур 800-1100oC.

 PDF версия (126Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster