ФТП, 2003, том 37, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Модель ослабления диффузии, ускоренной окислением,
в сильно легированных слоях кремния

О.В.Александров , Н.Н.Афонин *

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет,
197376 Санкт-Петербург, Россия
* Воронежский государственный педагогический университет,
394043 Воронеж, Россия

(Получена 24 декабря 2001 г. Принята к печати 3 декабря 2002 г.)

Предложена модель ослабления диффузии, ускоренной окислением, в сильно легированных слоях кремния посредством объемной рекомбинации собственных межузельных атомов на центрах, связанных с легирующей примесью. Учет рекомбинации избыточных собственных межузельных атомов, генерируемых при термическом окислении, позволяет описать зависимость ослабления диффузии, ускоренной окислением, от уровня легирования. Из анализа экспериментальных данных по диффузии, ускоренной окислением примесей B и P в изоконцентрационно-легированных слоях кремния, определены константы скорости и рекомбинации о оценены радиусы захвата при различных вариантах взаимодействия избыточных собственных межузельных атомов с примесными атомами и парами примесь-вакансия.

 PDF версия (172Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster