ФТП, 2003, том 37, выпуск 5: page 629...

ФТП, 2003, том 37, выпуск 5

Содержание	Предыдущая статья	Следующая статья	Поиск

Обнаружение примеси водорода в кремниевых детекторах излучения

Л.Ф.Макаренко, Ф.П.Коршунов^*, С.Б.Ластовский^*, Н.И.Замятин^$

Белорусский государственный университет,
220050 Минск, Белоруссия
^* Институт физики твердого тела и полупроводников Белорусской академии наук,
220072 Минск, Белоруссия
^$ Объединенный институт ядерных исследований,
141980 Дубна, Россия

(Получена 26 сентября 2002 г. Принята к печати 4 октября 2002 г.)

Исследовано поведение кремниевых детекторов частиц, облученных электронами с энергией 2.5 МэВ, при отжиге. Обнаружено, что отжиг при

100-250

^oC приводит к образованию двух ловушек с уровнями

E

_c-0.32 эВ и

E

_v+0.29 эВ. При повышении температуры отжига до

300

^oC обе ловушки исчезают. На основании полученных данных сделан вывод о том, что обнаруженные ловушки связаны с водородосодержащими комплексами. Результатом наличия водорода в кристалле явилось понижение температуры отжига комплексов вакансия--кислород (

V

O) и

<

межузельный углерод

>

<

межузельный кислород

>

_iO

_i). Причина этого эффекта связана с пассивацией этих комплексов водородом, с образованием электрически активного центра

V

OH (уровень

E

_c-0.32 эВ) на одной из промежуточных стадий этого процесса. Предполагается, что водород попал в исследованные структуры во время одной из технологических операций их изготовления.

PDF версия (201Kb) Другие выпуски Другие журналы Помощь

Copyright (C) 2003, Коллектив авторов Разработано... webmaster