ФТП, 2003, том 37, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние олова на реакции, протекающие с участием межузельного углерода в облученном кремнии

Л.И.Хируненко , О.А.Кобзарь, Ю.В.Помозов, М.Г.Соснин, Н.А.Трипачко

Институт физики Национальной академии наук Украины,
03028 Киев, Украина

(Получена 6 августа 2002 г. Принята к печати 6 сентября 2002 г.)

Проведено исследование влияния легирования оловом на реакции, протекающие с участием межузельного углерода в кремнии. Показано, что Sn в кремнии является эффективным стоком для межузельного углерода, в результате чего в кремнии, легированном оловом, не наблюдается образования центров CIOI и CICS, характерных для кремния, а возникают центры CISnS. Центры CIOI и CICS образуются в Si : Sn после отжига обнаруженных комплексов CISnS. Установлено, что атомы CI могут располагаться в двух различных положениях относительно атомов олова. Проведено рассмотрение процесса радиационного дефектообразования в Si : Sn в приближении квазихимических реакций. Получены выражения для зависимостей концентраций основных радиационных дефектов от содержания олова, проведено сопоставление с экспериментальными результатами.

 PDF версия (173Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster