"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Способ учета параметра сдвига при восстановлении распределения состава полупроводниковых структур по глубине в методе масс-спектрометрии вторичных ионов
Юнин П.А.1, Дроздов Ю.Н.1, Дроздов М.Н.1, Новиков А.В.1, Юрасов Д.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 15 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2012 г.

Предлагается способ решения прямой и обратной задач послойного анализа в методе масс-спектрометрии вторичных ионов. Обсуждаются преимущества решения некорректной обратной задачи в фурье-пространстве с регуляризацией по методу Тихонова. При восстановлении профилей концентрации элементов особое внимание уделяется их сдвигу как особенности функции разрешения масс-спектрометрии вторичных ионов. Учет сдвига достигается совместным решением прямой и обратной задач послойного анализа. Приводятся примеры работы алгоритма восстановления как для смоделированных профилей, так и для полученных в эксперименте. Показано, что использование предложенного алгоритма восстановления позволяет повысить информативность и улучшить разрешение метода по глубине. Предложенный способ учета сдвига позволяет избежать систематической погрешности определения глубин залегания тонких приповерхностных слоев.
  • М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, Д.Н. Лобанов, А.В. Новиков, Д.В. Юрасов. ФТП, 44 (3), 418 (2010)
  • S. Hofmann. Rep. Progr. Phys., 61, 827 (1998)
  • B. Gautier, R. Prost, G. Prudon, J.C. Dupuy. Surf. Interface Anal., 24, 733 (1996)
  • B. Gautier, R. Prost, G. Prudon, J.C. Dupuy. Surf. Interface Anal., 25, 464 (1997)
  • B. Gautier, G. Prudon, J.C. Dupuy. Surf. Interface Anal., 26, 974 (1998)
  • F. Boulsina, M. Berrabah, J.C. Dupuy. Appl. Surf. Sci., 255, 1946 (2008)
  • J.W. Lee, K.J. Kim, H.K. Kim, D.W. Moon. J. Surf. Anal., 10 (1), 16 (2003)
  • В.И. Шашкин, А.В. Мурель, В.М. Данильцев, О.И. Хрыкин. ФТП, 36 (5), 537 (2002)
  • Ю.Н. Дроздов, М.Н. Дроздов, А.В. Новиков, П.А. Юнин, Д.В. Юрасов. Тр. докл. 15-го Междунар. симп. Нанофизика и наноэлектроника" (Н.Новгород, Россия, 2011) т. 2, с. 450
  • А.Н. Тихонов, А.В. Гончарский, В.В. Степанов, А.Г. Ягола. Численные методы решения некорректных задач (М., Наука, 1990)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.