"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Способ учета параметра сдвига при восстановлении распределения состава полупроводниковых структур по глубине в методе масс-спектрометрии вторичных ионов
Юнин П.А.1, Дроздов Ю.Н.1, Дроздов М.Н.1, Новиков А.В.1, Юрасов Д.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 15 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2012 г.

Предлагается способ решения прямой и обратной задач послойного анализа в методе масс-спектрометрии вторичных ионов. Обсуждаются преимущества решения некорректной обратной задачи в фурье-пространстве с регуляризацией по методу Тихонова. При восстановлении профилей концентрации элементов особое внимание уделяется их сдвигу как особенности функции разрешения масс-спектрометрии вторичных ионов. Учет сдвига достигается совместным решением прямой и обратной задач послойного анализа. Приводятся примеры работы алгоритма восстановления как для смоделированных профилей, так и для полученных в эксперименте. Показано, что использование предложенного алгоритма восстановления позволяет повысить информативность и улучшить разрешение метода по глубине. Предложенный способ учета сдвига позволяет избежать систематической погрешности определения глубин залегания тонких приповерхностных слоев.
  1. М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, Д.Н. Лобанов, А.В. Новиков, Д.В. Юрасов. ФТП, 44 (3), 418 (2010)
  2. S. Hofmann. Rep. Progr. Phys., 61, 827 (1998)
  3. B. Gautier, R. Prost, G. Prudon, J.C. Dupuy. Surf. Interface Anal., 24, 733 (1996)
  4. B. Gautier, R. Prost, G. Prudon, J.C. Dupuy. Surf. Interface Anal., 25, 464 (1997)
  5. B. Gautier, G. Prudon, J.C. Dupuy. Surf. Interface Anal., 26, 974 (1998)
  6. F. Boulsina, M. Berrabah, J.C. Dupuy. Appl. Surf. Sci., 255, 1946 (2008)
  7. J.W. Lee, K.J. Kim, H.K. Kim, D.W. Moon. J. Surf. Anal., 10 (1), 16 (2003)
  8. В.И. Шашкин, А.В. Мурель, В.М. Данильцев, О.И. Хрыкин. ФТП, 36 (5), 537 (2002)
  9. Ю.Н. Дроздов, М.Н. Дроздов, А.В. Новиков, П.А. Юнин, Д.В. Юрасов. Тр. докл. 15-го Междунар. симп. Нанофизика и наноэлектроника" (Н.Новгород, Россия, 2011) т. 2, с. 450
  10. А.Н. Тихонов, А.В. Гончарский, В.В. Степанов, А.Г. Ягола. Численные методы решения некорректных задач (М., Наука, 1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.