"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Краевые инверсионные каналы и поверхностные токи утечки в высоковольтных полупроводниковых приборах
Кюрегян А.С.1
1Всероссийский электротехнический институт им. В.И. Ленина, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 16 июня 2010 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2011 г.

Показано, что электрическое поле над поверхностью полупроводниковых приборов может оказаться достаточным для того, чтобы индуцировать краевые инверсионные каналы, если напряжение смещения велико, а плотность поверхностного заряда Qs мала. В этом случае краевая область приборов, содержащих p-n-p-структуру (например, тиристоров), функционирует как планарный p-канальный МДП транзистор, у которого затвор совмещен со стоком, а функцию подзатворного диэлектрика выполняет вся среда над поверхностью. Ток между истоком и стоком этого "краевого МДП транзистора" является током поверхностной утечки всего прибора. Построена аналитическая теория, описывающая вольт-амперную характеристику в подпороговом режиме. Показано, что этот новый механизм определяет полный ток утечки высоковольтных приборов, если |Qs| и температура T достаточно малы (|Qs|<4 нКл/см2, T<270 K для кремниевых и |Qs|<58 нКл/см2, T<600 K для карбид-кремниевых приборов).
  • П.С. Агаларзаде, А.И. Петрин, С.О. Изидинов. Основы конструирования и технологии обработки поверхности p-n-перехода (М., Сов. радио, 1978)
  • H. Statz, A. deMars, L. Davis et al. Phys. Rev., 100 (4), 1272 (1956)
  • С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 2
  • H.C. Pao, C.T. Sah. Sol. St. Electron., 9, 927 (1966)
  • М.А. Лаврентьев, Б.В. Шабат. Методы теории функций комплексного переменного (М., Наука, 1987)
  • X.B. Chen, J.K.O. Sin, M. Zhang, B. Wang. IEEE Trans. Electron. Dev., ED- 44, 869 (1997)
  • А.С. Кюрегян. ФТП, 45, 67 (2011)
  • А.В. Горбатюк, А.С. Кюрегян. Микроэлектроника, 20, 254 (1991)
  • А.С. Кюрегян, С.Н. Юрков. ФТП, 23, 1819 (1989)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.