Вышедшие номера
Свойства контактов GaN(SiC)-(Ti,Zr)Bx, подвергнутых быстрым термоотжигам
Беляев А.Е.1, Болтовец Н.С.2, Иванов В.Н.2, Конакова Р.В.1, Кладько В.П.1, Кудрик Я.Я.1, Лебедев А.А.3, Миленин В.В.1, Шеремет В.Н.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Государственное предприятие НИИ "Орион", Киев, Украина
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 13 января 2009 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2009 г.

Исследовано влияние быстрой термической обработки на структурные и электрофизические свойства контактов Au-(Ti,Zr)Bx-GaN(SiC) и диодных структур на их основе. Рентгенодифракционные исследования и послойный оже-анализ показали, что фазовый состав и структура контактов к GaN и SiC сохраняются до температуры 900 и 1000oC соответственно. Стабильность межфазных границ подтверждается практически неизменными электрофизическими свойствами контактов до и после быстрых термообработок. Высота барьера Шоттки varphib для контактов к GaN составляет 0.89-0.9 эВ и к SiC - 0.79-0.83 эВ; фактор идеальности вольт-амперной характеристики для контактов Au-TiBx(ZrBx)-n-GaN(SiC) составляет n=1.2, а для Au-ZrBx-n-n+-4HSiC n~ 1.12. Структурные исследования указывают на наличие стеклообразующих окислов бора и металлов на межфазной границе раздела, которые образуют тонкий аморфный стекловидный слой, устойчивый к быстрым термическим отжигам, и являются диффузионным барьером для межфазного переноса. PACS: 73.40.Ns, 73.30+y, 85.30Kk, 81.05.Hd, 81.40.Ef, 81.40.Rs, 81.05.Rm