Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Фрактальная геометрия поверхностного потенциала электрохимически осажденных пленок платины и палладия
1Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов, Томск, Россия 
2Томский государственный универстет, Томск, Россия
2Томский государственный универстет, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 23 декабря 2008 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2009 г.
Поверхностные потенциалы электрохимически осажденных тонких пленок палладия и платины сильно неоднородны и отражают зернистую структуру рельефов их поверхностей. Значения пространственных размерностей Хаусдорфа-Безиковича поверхностных потенциалов этих пленок значительно превышают топологическую размерность их проекций, что свидетельствует об их фрактальной геометрии. Было установлено, что поверхности пленок платины и палладия отличаются не только своим разбросом абсолютных значений неоднородностей поверхностных потенциалов, но и формой и характером их распределения. Это оказывает существенное влияние на способ формирования (геометрию) их потенциальных рельефов и на значения их фрактальных размерностей. Кроме того, фрактальная геометрия потенциальных рельефов поверхностей этих пленок приводит к тому, что изменение полного электрического заряда их поверхностей происходит не пропорционально квадрату изменения линейных размеров исследуемых участков, как в двумерном случае, а значительно медленнее - пропорционально изменению их линейных размеров в степени (4-Df), где 2<Df<3. В результате показано, что для точного проектирования приборов с металлическими элементами субмикронных и наноразмеров на основе тонких пленок платины и палладия необходимо учитывать и их фрактальную геометрию. PACS: 68.35.bd, 73.30.+y, 68.35.Ct, 68.37.Ps
- Н.А. Торхов, В.Г. Божков, И.В. Ивонин, В.А. Новиков. ФТП, 43(1), 38 (2009)
- В.Г. Божков, Н.А. Торхов, И.В. Ивонин, В.А. Новиков. ФТП, 42(5), 546 (2008)
- Н.А. Торхов. Деп. в ВИНИТИ N 32-D2008 от 14.01.2008
- Н.М. Коровкина. Автореф. канд. дис. (СПб., Гос. электротехн. ун-т им. В.И. Ульянова (Ленина), 2006 )
- В.Е. Панин, П.В. Кузнецов, Е.Е. Дерюгин и др. ФММ, 84(2), 118 (1997)
- C.S. Pande, L.E. Richards, N. Louat, B.D. Dempsey, A.J. Schwoeble. Acta Metall. Mater., 35(7), 1633 (1987)
- R.H. Dauskardt, F. Haubensak, R.O. Ritchie. Acta Metall. Mater., 38(2), 143 (1990)
- D.W. Shi, J. Jiang, C.W. Lung. Phys. Rev. B, 54(24), 17 355 (1996)
- В.Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии (Н. Новгород. Ин-т физики микроструктур, 2004)
- А.В. Анкудинов, В.П. Евтихеев, К.С. Ладутенко, А.Н. Титков, R. Laiho. ФТП, 40(8), 1009 (2006)
- B.B. Mandelbrot. In: Statistical Models and Turbulence, ed. by M. Rosenblatt, C. Van Atta. Lecture Notes in Physics 12 (Springer, N.Y., 1972)
- B.B. Mandelbrot. J. Fluid Mech., 62, 331 (1974)
- Е.Федер. Фракталы (М., Мир, 1991)
- Б.Б. Мандельброт. Фрактальная геометрия природы (М., Ин-т компьютерных исследований, 2002)
- А.Д. Морозов. Введение в теорию фракталов (М.--Ижевск, НИЦ "Регулярная и хаотическая динамика", 2001)
- П.А. Арутюнов, А.Л. Толстихина, В.Н. Демидов. Завод. лаб., 65(9) 27 (1999)
- А.В. Панин, А.Р. Шугуров. Поверхность, N 6, 64 (2003)
- Н.А. Торохов. Деп. в ВИНИТИ N 334-В2008 от 18.04.08
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
