Вышедшие номера
Home » Физика и техника полупроводников » Год 2025, выпуск 6 » Статья стр. 355
<<<>>>
Исследование роста и электрической проводимости сверхтонких пленок магния на поверхности Si(111), пассивированной висмутом
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, государственное задание, FWFW-2021-0002
Цуканов Д.А. 1,2, Азатьян С.Г. 1, Денисов Н.В. 1, Рыжкова М.В. 1
1Институт автоматики и процессов управления Дальневосточное отделение Российской академии наук, Владивосток, Россия
2Дальневосточный федеральный университет, Владивосток, Россия
Email: tsukanov@iacp.dvo.ru, sergei@iacp.dvo.ru, denisov@mail.dvo.ru, lavric@iacp.dvo.ru
Поступила в редакцию: 23 июня 2025 г.
В окончательной редакции: 14 августа 2025 г.
Принята к печати: 14 августа 2025 г.
Выставление онлайн: 13 октября 2025 г.
PDF версия
Представлены результаты исследования кристаллической структуры, морфологии и электрического сопротивления подложек Si(111) после осаждения магния на предварительно сформированные поверхностные реконструкции Si(111)3x3-Bi. Для исследования изменений структуры кристаллической решетки и морфологии поверхности использован метод дифракции медленных электронов и сканирующая туннельная микроскопия, а для измерения электрического сопротивления подложек - четырехзондовый метод в условиях in situ. Рассмотрено влияние концентрации адсорбированных атомов магния на структурные и электрические свойства пленок. Показана роль поверхностных реконструкций в качестве буферного слоя для последующего роста сверхтонких пленок магния. Ключевые слова: адсорбция, поверхностная реконструкция, электрическое сопротивление, дифракция медленных электронов, четырехзондовый метод измерения сопротивления подложки.
  1. N. Spiridis, J. Korecki. Appl. Surf. Sci., 141, 313 (1999). DOI: 10.1016/S0169-4332(98)00518-2
  2. N. Nagamura, I. Matsuda, N. Miyata, T. Hirahara, S. Hasegawa, T. Uchihashi. Phys. Rev. Lett., 96, 256801 (2006). DOI: 10.1103/PhysRevLett.96.256801
  3. T. Uchihashi, C. Ohbuchi, S. Tsukamoto, T. Nakayama. Phys. Rev. Lett., 96, 136104 (2006). DOI: 10.1103/PhysRevLett.96.136104
  4. D.A. Tsukanov, M.V. Ryzhkova, D.V. Gruznev, O.A. Utas, V.G. Kotlyar, A.V. Zotov, A.A. Saranin. Nanotechnology, 19, 245608 (2008). DOI: 10.1088/0957-4484/19/24/245608
  5. S. Chandola, N. Esser. J. Vac. Sci. Technol. B, 36, 04H103 (2018). DOI: 10.1116/1.5031228
  6. T. Kuzumaki, T. Shirasawa, S. Mizuno, N. Ueno, H. Tochihara, K. Sakamoto. Surf. Sci., 604, 1044 (2010). DOI: 10.1016/j.susc.2010.03.022
  7. S. Nakatani, T. Takahashi, Y. Kuwahara, M. Aono. Phys. Rev. B, 52, R8711 (1995). DOI: 10.1103/PhysRevB.52.R8711
  8. R.H. Miwa, T.M. Schmidt, G.P. Srivastava. J. Phys.: Condens. Matter, 15, 2441 (2003). DOI: 10.1088/0953-8984/15/17/302
  9. L. Chi, J. Nogami, C.V. Singh. Phys. Rev. B, 103, 075405 (2021). DOI: 10.1103/PhysRevB.103.075405
  10. D.A. Tsukanov, S.G. Azatyan, M.V. Ryzhkova, E.A. Borisenko, O.A. Utas, A.V. Zotov, A.A. Saranin. Appl. Surf. Sci., 476, 1 (2019). DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.01.063
  11. N.V. Denisov, A.Yu. Tupchaya, A.N. Mihalyuk, L.V. Bondarenko, O.A. Utas, S.G. Azatyan, A.V. Zotov, A.A. Saranin. Surf. Sci., 677, 291 (2018). DOI: 10.1016/j.susc.2018.08.008
  12. N.V. Denisov, E.N. Chukurov, Yu.V. Luniakov, O.A. Utas, S.G. Azatyan, A.A. Yakovlev, A.V. Zotov, A.A. Saranin. Surf. Sci., 623, 17 (2014). DOI: 10.1016/j.susc.2014.01.003
  13. A.N. Mihalyuk, L.V. Bondarenko, A.Y. Tupchaya, T.V. Utas, Y.E. Vekovshinin, D.V. Gruznev, S.V. Eremeev, A.V. Zotov, A.A. Saranin. Phys. Rev. B, 104, 125413 (2021). DOI: 10.1103/PhysRevB.104.125413
  14. M. Naitoh, H. Shimaya, N. Oishi, F. Shoji, S. Nishigaki. Appl. Surf. Sci., 123, 171 (1998). DOI: 10.1016/S0169-4332(97)00509-6
  15. S. Hasegawa, X. Tong, S. Takeda, N. Sato, T. Nagao. Progr. Surf. Sci., 60, 89 (1999). DOI: 10.1016/S0079-6816(99)00008-8
  16. A. Saranin, A. Zotov, V. Lifshits, M. Katayama, K. Oura. Surf. Sci., 426, 298 (1999). DOI: 10.1016/S0039-6028(99)00283-6
  17. A.V. Slyshkin, A.Y. Tupchaya, L.V. Bondarenko, D.V. Gruznev, A.N. Mihalyuk, A.V. Zotov, A.A. Saranin. Thin Sol. Films, 754, 139317 (2022). DOI: 10.1016/j.tsf.2022.139317
  18. D. Lee, G. Lee, S. Kim, C. Hwang, J.-Y. Koo, H. Lee. J. Phys.: Condens. Matter, 19, 266004 (2007). DOI: 10.1088/0953-8984/19/26/266004
  19. Fritz Haber Institute of the Max Planck Society, LEEDpat4 software. https://www.fhi.mpg.de/958975/LEEDpat4

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme