Вышедшие номера
Интегральный субтерагерцовый волноводный реконфигурируемый аттенюатор на основе материала Ge2Sb2Te5 с фазовой памятью
Russian science foundation, 20-79-10322
Ministry of Education and Science of the Russian Federation, FSME-2025-0002
Селиверстов С.В. 1,2,3, Кожуховский А.К.1, Фудин Д.Г.1, Святодух С.С.1,4, Лазаренко П.И.5, Терехов Д.Ю.5, Проходцов А.И.2, Невзоров А.А.2, Светухин В.В.6, Ковалюк В.В.2,4, Гольцман Г.Н.4,7
1Московский Педагогический Государственный Университет, Москва, Россия
2Лаборатория фотонных газовых сенсоров, Университет науки и технологий "МИСиС", Москва, Россия
3Научно-исследовательский институт телекоммуникаций, МИЭМ НИУ ВШЭ, Москва, Россия
4Национальный исследовательский университет Высшая школа экономики
5Национальный исследовательский университет Московский институт электронной техники
6Научно-производственный комплекс «Технологический центр»
7Российский Квантовый Центр, Москва, Территория Инновационного Центра «Сколково»
Email: sv.seliverstov@mpgu.su
Поступила в редакцию: 26 марта 2025 г.
В окончательной редакции: 23 июня 2025 г.
Принята к печати: 23 июня 2025 г.
Выставление онлайн: 29 июля 2025 г.

Использование халькогенидных полупроводниковых соединений, в частности материала Ge-Sb-Te с фазовой памятью, имеет важное значение для дальнейшего развития микро- и наноэлектроники, в том числе для создания пространственно-временных терагерцовых модуляторов для высокоскоростной беспроводной связи, элементов нейроморфной фотоники, метаматериалов для машинного обучения, а также плазмонных устройств и приложений, обеспечивающих хранение данных с возможностью их дальнейшей реконфигурации. В данной работе исследуется изменение проходящего через терагерцовый волновод сигнала в зависимости от фазового состояния тонкой пленки Ge-Sb-Te, покрывающей волновод. В рамках работы были изготовлены два варианта волноводов: безоболочечные и на основе эффективной среды. Материал фазовой памяти применялся для управления параметрами проходящего сигнала. В ходе экспериментов было установлено, что значение контраста в поглощении между аморфным и кристаллическим состояниями Ge-Sb-Te превышает 10 дБ для случая, когда ориентация вектора напряженности поля, распространяющегося по волноводу, перпендикулярно слою Ge-Sb-Te. Полученные результаты открывают возможность использования разработанных элементов в качестве реконфигурируемых аттенюаторов при создании устройств интегральной терагерцовой фотоники. Ключевые слова: халькогенидные полупроводники, материал с фазовой памятью GST, терагерцовая фотоника, высокоомный кремний.
  1. T. Erpek, T.J. O'Shea, Y.E. Sagduyu, Y. Shi, T.C. Clancy. Development and Analysis of Deep Learning Architectures, 223 (2020)
  2. W. Kim, Y. Ahn, J. Kim, B. Shim. B. J. Commun. Networks, 25 (1), 61 (2023)
  3. W. Xia, S. Rangan, M. Mezzavilla, A. Lozano, G. Geraci, V. Semkin, G. Loianno. IEEE Trans. Wireless Commun., 21 (11), 9417 (2022)
  4. H. Ju, S. Kim, Y. Kim, B. Shim. IEEE Trans. Wireless Commun., 21 (8), 6539 (2022)
  5. K. Suh, S. Kim, Y. Ahn, S. Kim, H. Ju, B. Shim. IEEE Access, 10, 7384 (2022)
  6. X. Ma, Z. Gao, F. Gao, M. Di Renzo. IEEE J. Select. Areas Commun., 39 (8), 2388 (2021)
  7. A. Manoj, A.P. Kannu. IEEE Trans. Commun., 66 (11), 5678 (2018)
  8. Resul Das, Muhammad Inuwa. Telematics and Informatics Rep., 10, 100049 (2023)
  9. B.J. Shastri, A.N. Tait, T. Ferreira de Lima, W.H. Pernice, H. Bhaskaran, C.D. Wright, P.R. Prucnal. Nature Photonics, 15 (2), 102 (2021).
  10. D.A. Miller. Optica, 2 (8), 747 (2015)
  11. S. Xu, J. Wang, H. Shu, Z. Zhang, S. Yi, B. Bai, X. Wang, J. Liu, W. Zou. Light: Sci. Appl., 10 (1), 221 (2021)
  12. K. Makino, K. Kato, Y. Saito, P. Fons, A.V. Kolobov, J. Tominaga, T. Nakano, M. Nakajima. J. Mater. Chem. C, 7 (27), 8209 (2019)
  13. C. Ri os, M. Stegmaier, P. Hosseini, D. Wang, T. Scherer, C.D. Wright, H. Bhaskaran, W. Pernice. Nature Photonics, 9 (11), 725 (2015)
  14. Y.G. Jeong, Y.M. Bahk, D.S. Kim. Adv. Optical Mater., 8 P.I.(3), 1900548 (2020)
  15. P.I. Lazarenko, Y.V. Vorobyov, M.E. Fedyanina, A.A. Sherchenkov, S.A. Kozyukhin, A.O. Yakubov, A.V. Kukin, Yu.S. Sybina, I.V. Sagunova. Inorganic Mater.: Appl. Res., 11, 330 (2020)
  16. P. Pitchappa, A. Kumar, S. Prakash, H. Jani, T. Venkatesan, R. Singh. Advanced Mater., 31 (12), 1808157 (2019)
  17. S. Seliverstov, S. Svyatodukh, G. Goltsman. Appl. Phys. Lett., 123 (9), 090501 (2023)
  18. S. Seliverstov, A. Kozhukhovsky, S. Svyatodukh, G. Goltsman. Appl. Phys. Lett., 124 (12), 121106 (2024)
  19. P. Lazarenko, V. Kovalyuk, P. An, A. Prokhodtsov, A. Golikov, A. Sherchenkov, S. Kozyukhin, I. Fradkin, G. Chulkova, G. Goltsman. APL Materials, 9 (12), 121104 (2021)
  20. E. Menshikov, P. Lazarenko, V. Kovalyuk, S. Dubkov, N. Maslova, A. Prokhodtsov, A. Vorobyov, S. Kozyukhin, G. Goltsman, I.S. Sinev. ACS Аppl. Mater. Interfaces, 16 (29), 38345 (2024)
  21. P. Guo, A.M. Sarangan, I. Agha. Appl. Sci., 9 (3), 530 (2019)
  22. D. Lawson, S. Blundell, M. Ebert, O.L. Muskens, I. Zeimpekis. Optical Mater. Express, 14 (1), 22 (2023)
  23. W. Zhou, Z. Zhang, Q. Zhang, D. Qi, T. Xu, S. Dai, X. Shen. Micromachines, 12 (6), 616 (2021)
  24. C. Zhang, M. Wei, J. Zheng, S. Liu, H. Cao, Y. Huang, Y. Tan, M. Zhang, Y. Xie, Z. Yu, J. Li, H. Ye, L. Li, H. Lin, H. Li, Y. Shi, L. Liu, D. Dai. Adv. Optical Mater., 11 (8), 2202748 (2023).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.