"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Внутреннее трение в полупроводниковых тонких пленках, полученных методом золь--гель технологии
Ильин А.С.1, Максимов А.И.2, Мошников В.А.2, Ярославцев Н.П.1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 7 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2005 г.

Разработана методика, позволяющая эффективно контролировать наличие и состав капсулированных нанофаз в наноструктурированных тонких пленках, полученных по золь--гель технологии. Приведены результаты исследований по данной методике полупроводниковых пленочных структур, предназначенных для использования в газочувствительных адсорбционных датчиках. Показаны возможность и перспективы исследования материалов, а также диагностики протекания золь--гель процессов с помощью разработанной методики.
  • В.С. Постников. Внутреннее трение в металлах (М., Металлургия, 1974)
  • Н.П. Ярославцев. Автореф. докт. дис. (Воронеж, Воронеж. политехнич. ин-т, 1992)
  • Ф. Крегер. Химия несовершенных кристаллов (М., Мир, 1969)
  • Т.Т. Дедегкаев, Н.Е. Мокроусов, В.А. Мошников, Д.А. Яськов. ЖФХ, 57 (6), 1556 (1983)
  • T.T. Dedegkaev, N.E. Mokrousov, V.A. Moshnikov, D.A. Yaskov. Cryst. Res. Techn., 8 (11), 119 (1983)
  • Н.П. Измайлов, Ю.Л. Ильин, В.А. Мошников, В.В. Томаев, Н.П. Ярославцев, Д.А. Яськов. ЖФХ, 62 (5), 1370 (1988)
  • В. Квестроу. В кн.: Препаративные методы в химии твердого тела (М., Мир, 1976) с. 592
  • R. Assenov, N.P. Izmailov, V.A. Moshnikov, N.P. Yaroslavtsev. Cryst. Res. Tehn., 22 (2), 1189 (1987)
  • Ю.Н. Андреев, М.В. Бестаев, Д.Ц. Димитров, В.А. Мошников, Ю.М. Таиров, Н.П. Ярославцев. ФТП, 31 (7), 841 (1997)
  • Ю.Н. Андреев, Б.М. Даринский, В.А. Мошников, Д.С. Сайко, Н.П. Ярославцев. ФТП, 34 (6), 644 (2000)
  • C.J. Brinker, G.W. Scherer. Sol--Gel Science. The Physics and Chemistry of Sol--Gel Processing (San Diego, Academic Press, 1990)
  • A. Martucci, N. Bassiri, M. Guglielmi, L. Armelao, S. Gross, J.C. Pivin. J. Sol--Gel Sci. Technol., 26, 1 (2003)
  • Ю.З. Бубнов, В.А. Жабрев, О.А. Шилова, С.В. Кощеев, А.И. Максимов, В.А. Мошников. Матер. VIII Межд. научн.-техн. конф. "Высокие технологии в промышленности России" (М., ОАО ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ", 2002) с. 298
  • А.И. Борисенко, В.В. Новиков, Н.Е. Прихидько, И.М. Митникова, Л.Ф. Чепик. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике (Л., Наука, 1972)
  • О.А. Шилова, Л.Ф. Чепик, Ю.З. Бубнов. ЖПХ, 68 (10), 1608 (1995)
  • Ю.З. Бубнов, В.А. Жабрев, С.В. Кощеев, О.Ф. Луцкая, А.И. Максимов, В.А. Мошников, О.А. Шилова. Тез. докл. IV Межд. научн.-техн. конф. "Электроника и информатика" (М., МИЭТ, 2002) ч. 2, c. 16
  • Л.Ф. Чепик, Е.П. Трошина, Т.С. Мащенко, Д.П. Романов, А.И. Максимов, О.Ф. Луцкая. ЖПХ, 74 (10), 1569 (2001)
  • D. Dimitrov, O.F. Loutskaya, V.A. Moshnikov. Electron Technology, 33 (1/2), 61 (2000)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.