"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Внутреннее трение в полупроводниковых тонких пленках, полученных методом золь--гель технологии
Ильин А.С.1, Максимов А.И.2, Мошников В.А.2, Ярославцев Н.П.1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 7 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2005 г.

Разработана методика, позволяющая эффективно контролировать наличие и состав капсулированных нанофаз в наноструктурированных тонких пленках, полученных по золь--гель технологии. Приведены результаты исследований по данной методике полупроводниковых пленочных структур, предназначенных для использования в газочувствительных адсорбционных датчиках. Показаны возможность и перспективы исследования материалов, а также диагностики протекания золь--гель процессов с помощью разработанной методики.
  1. В.С. Постников. Внутреннее трение в металлах (М., Металлургия, 1974)
  2. Н.П. Ярославцев. Автореф. докт. дис. (Воронеж, Воронеж. политехнич. ин-т, 1992)
  3. Ф. Крегер. Химия несовершенных кристаллов (М., Мир, 1969)
  4. Т.Т. Дедегкаев, Н.Е. Мокроусов, В.А. Мошников, Д.А. Яськов. ЖФХ, 57 (6), 1556 (1983)
  5. T.T. Dedegkaev, N.E. Mokrousov, V.A. Moshnikov, D.A. Yaskov. Cryst. Res. Techn., 8 (11), 119 (1983)
  6. Н.П. Измайлов, Ю.Л. Ильин, В.А. Мошников, В.В. Томаев, Н.П. Ярославцев, Д.А. Яськов. ЖФХ, 62 (5), 1370 (1988)
  7. В. Квестроу. В кн.: Препаративные методы в химии твердого тела (М., Мир, 1976) с. 592
  8. R. Assenov, N.P. Izmailov, V.A. Moshnikov, N.P. Yaroslavtsev. Cryst. Res. Tehn., 22 (2), 1189 (1987)
  9. Ю.Н. Андреев, М.В. Бестаев, Д.Ц. Димитров, В.А. Мошников, Ю.М. Таиров, Н.П. Ярославцев. ФТП, 31 (7), 841 (1997)
  10. Ю.Н. Андреев, Б.М. Даринский, В.А. Мошников, Д.С. Сайко, Н.П. Ярославцев. ФТП, 34 (6), 644 (2000)
  11. C.J. Brinker, G.W. Scherer. Sol--Gel Science. The Physics and Chemistry of Sol--Gel Processing (San Diego, Academic Press, 1990)
  12. A. Martucci, N. Bassiri, M. Guglielmi, L. Armelao, S. Gross, J.C. Pivin. J. Sol--Gel Sci. Technol., 26, 1 (2003)
  13. Ю.З. Бубнов, В.А. Жабрев, О.А. Шилова, С.В. Кощеев, А.И. Максимов, В.А. Мошников. Матер. VIII Межд. научн.-техн. конф. "Высокие технологии в промышленности России" (М., ОАО ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ", 2002) с. 298
  14. А.И. Борисенко, В.В. Новиков, Н.Е. Прихидько, И.М. Митникова, Л.Ф. Чепик. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике (Л., Наука, 1972)
  15. О.А. Шилова, Л.Ф. Чепик, Ю.З. Бубнов. ЖПХ, 68 (10), 1608 (1995)
  16. Ю.З. Бубнов, В.А. Жабрев, С.В. Кощеев, О.Ф. Луцкая, А.И. Максимов, В.А. Мошников, О.А. Шилова. Тез. докл. IV Межд. научн.-техн. конф. "Электроника и информатика" (М., МИЭТ, 2002) ч. 2, c. 16
  17. Л.Ф. Чепик, Е.П. Трошина, Т.С. Мащенко, Д.П. Романов, А.И. Максимов, О.Ф. Луцкая. ЖПХ, 74 (10), 1569 (2001)
  18. D. Dimitrov, O.F. Loutskaya, V.A. Moshnikov. Electron Technology, 33 (1/2), 61 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.