Вышедшие номера
Разыгрывание полярного угла рассеяния электронов на ионах примеси при моделировании процессов переноса заряда в полупроводниках методом Монте-Карло
Борздов В.М.1, Борздов А.В.1, Василевский Ю.Г.1
1Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
Email: borzdov@bsu.by
Поступила в редакцию: 9 декабря 2022 г.
В окончательной редакции: 27 января 2023 г.
Принята к печати: 30 января 2023 г.
Выставление онлайн: 2 марта 2023 г.

Рассмотрены процедуры разыгрывания полярного угла рассеяния электронов на ионах примеси в рамках моделей Брукса-Хэрринга, Конуэлл-Вайскопфа и Ридли, чаще всего используемых при моделировании процессов переноса носителей заряда в полупроводниках методом Монте-Карло. Для модели Ридли предложена более корректная процедура разыгрывания полярного угла рассеяния. На примере кремния проанализированы особенности плотностей распределения углов рассеяния, полученных в рамках рассмотренных моделей. Проведено сравнение рассчитанных многочастичным методом Монте-Карло зависимостей подвижности электронов в постоянном электрическом поле с напряженностью F=7·104 В/м в легированном кремнии при температуре 300 K с использованием этих моделей. Ключевые слова: ионизованная примесь, рассеяние электронов, метод Монте-Карло.
  1. В.М. Борздов, О.Г. Жевняк, Ф.Ф. Комаров, В.О. Галенчик. Моделирование методом Монте-Карло приборных структур интегральной электроники (Минск, БГУ, 2007)
  2. С. Jacoboni, P. Lugly. The Monte Carlo Method for Semiconductor Device Simulation (Wien--N.Y., Springer Verlag, 1989)
  3. С. Jacoboni, L. Reggiani. Rev. Mod. Phys., 55 (3), 645 (1983)
  4. В.М. Иващенко, В.В. Митин. Моделирование кинетических явлений в полупроводниках. Метод Монте-Карло (Киев, Наук. думка, 1990)
  5. D. Chattopadhyay, H.J. Queisser. Rev. Mod. Phys., 53 (4), 745 (1981)
  6. B.K. Ridley. J. Phys. C: Solid State Phys., 10, 1589 (1977)
  7. N.A. Poklonski, S.A. Vyrko, V.I. Yatskevich, A.A. Kocherzhenko. J. Appl. Phys., 93 (12), 9749 (2003)
  8. D. Pozdnyakov. J. Comput. Electron., 13, 338 (2014)
  9. H. Kosina. Phys. Status Solidi A, 163, 475 (1997)
  10. T.G. Van de Roer, F.R. Widdershoven. J. Appl. Phys., 59 (3), 813 (1986)
  11. Б. Ридли. Квантовые процессы в полупроводниках (М., Мир, 1986) [Пер. с англ.: B.K. Ridley. Quantum processes in semiconductors (Oxford, Clarendon Press, 1982)]
  12. Monte Carlo device simulation: full band and beyond, ed. by K. Hess (Boston--Dordrecht--London, Kluwer Academic Publishers, 1991) chap. 2, p. 27
  13. Е.С. Вентцель, Л.А. Овчаров. Прикладные задачи теории вероятностей (М., Радио и связь, 1983)
  14. К. Зеегер. Физика полупроводников (М., Мир, 1977) [Пер. с англ.: K. Seeger. Semiconductor physics (Wien--N.Y., Springer Verlag, 1973)]
  15. G. Baccarani, P. Ostoja. Solid-State Electron., 18, 579 (1975)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.