Вышедшие номера
Емкостная спектроскопия гетероэпитакиальных AlGaAs/GaAs p-i-n-структур
Переводная версия: 10.1134/S1063782620100280
Соболев М.М. 1, Солдатенков Ф.Ю. 1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: m.sobolev@mail.ioffe.ru, f.soldatenkov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 27 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 30 апреля 2020 г.
Принята к печати: 18 мая 2020 г.
Выставление онлайн: 11 июля 2020 г.

Исследованы температурные зависимости вольт-фарадных характеристик и спектры глубоких уровней плавного высоковольтного AlxGa1-xAs p0-i-n0-перехода, изготовленного методом жидкофазной эпитаксии за счет автолегирования фоновыми примесями. Обнаруженные изменения вольт-фарадных характеристик в зависимости от температуры измерения и оптической подсветки продемонстрировали, что в исследуемых AlxGa1-xAs слоях p0-, i-, n0-типа содержатся бистабильные DX-центры. В спектрах нестационарной спектроскопии глубоких уровней (DLTS), измеренных при различных напряжениях смещения Vr и импульса заполнения Vf, в n0-слое выявлен положительный DLTS-пик с энергией термической активации Et=280 мэВ и сечением захвата электронов sigman=3.17·10-14 см2, что является необычным для ловушки основных носителей. Этот пик связывается с отрицательно заряженным состоянием донорной примеси Se/Te, которое является бистабильным DX-центром с отрицательной энергией корреляции U. Ключевые слова: AlGaAs, емкостная спектроскопия, DX-центр, p0-i-n0-переход, жидкофазная эпитаксия.