Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние водорода на импеданс структур Pd/оксид/InP
Переводная версия: 10.1134/S1063782620060160 
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
2ООО "АИБИ", Санкт-Петербург, Россия
2ООО "АИБИ", Санкт-Петербург, Россия
Email: vadimshutaev@mail.ru
Поступила в редакцию: 29 января 2020 г.
В окончательной редакции: 5 февраля 2020 г.
Принята к печати: 5 февраля 2020 г.
Выставление онлайн: 26 марта 2020 г.
Исследован импеданс и емкостные свойства структур Pd/оксид/InP при 300 K в диапазоне частот 10-1-105 Гц на воздухе и в азотно-водородной газовой среде. Характеристики структур в обеих средах интерпретируются на основе модели параллельной RC-цепочки с последовательным сопротивлением. В присутствии водорода сопротивление структур уменьшается на 3 порядка, а емкость взрастает на 1-3 порядка в зависимости от частоты, что, возможно, связано с образованием положительно заряженных центров в оксиде. На вольт-фарадных характеристиках структур в среде с водородом обнаружен гистерезис, возможно, обусловленный ионной поляризацией центров. Показано, что полный заряд центров, измеренный в единицах электронов, практически совпадает с числом атомов водорода, поглощенных палладием. Ключевые слова: палладий, водород, фосфид индия, импеданс, МОП структура.
- B. Podlepetsky, M. Nikiforova, A. Kovalenko. Sensors Actuators B, 254, 1200 (2018)
- P. Sun, Y. Yu, J. Xu, Y. Sun, J. Ma, G. Lu. Sensors Actuators B, 160 (1), 244 (2011)
- W.C. Liu, H.J. Pan, H.I. Chen, K.W. Lin, C.K. Wang. Jpn. J. Appl. Phys., 40, 6254 (2001)
- T. Hubert, L. Boon-Brett, G. Banach. Sensors Actuators B, 157, 329 (2011)
- Б.В. Некрасов. Основы общей химии (М., Химия, 1973) т. 2, c. 382
- F.D. Manchester, A. San-Martin, J.M. Pitre. J. Phase Eguilibria, 15, 62 (1994)
- K. Skucha, Zh. Fan, K. Jeon, A. Javey, B. Boser. Sensors Actuators B, 145, 232 (2010)
- Kh.M. Salikhov, S.V. Slobodchikov, B.V. Russu. SPIE, 3122, 494 (1997)
- С.М. Репинский. Введение в химическую физику поверхности твердых тел (Новосибирск, Наука, 1993) c. 94
- О.В. Константинов, В.Д. Дымников, М.А. Митцев. ФТП, 42 (8), 947 (2008)
- I.N. Yamamoto, S. Tonomura, T. Matsuoka, H. Tsubomura. J. Appl. Phys., 52, 6227 (1981)
- Е.А. Гребенщикова, В.В. Евстропов, Н.Д. Ильинская, Ю.С. Мельников, О.Ю. Серебренникова, В.Г. Сидоров, В.В. Шерстнев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 49 (3), 376 (2015)
- В.А. Шутаев, В.Г. Сидоров, Е.А. Гребенщикова, Л.К. Власов, А.А. Пивоварова, Ю.П. Яковлев. ФТП, 53 (10), 1427 (2019)
- Е.А. Гребенщикова, Х.М. Салихов, В.Г. Сидоров, В.А. Шутаев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 52 (10), 1183 (2018)
- В.И. Гаман, В.И. Балюба, В.Ю. Грицык, Т.А. Давыдова, В.М. Калыгина. ФТП, 42 (3), 341 (2008)
- С.В. Тихов, В.П. Лесников, В.В. Подольский, М.В. Шилова. ЖТФ, 65 (11), 120 (1995)
- Г.Г. Ковалевская, М.М. Мередов, А.В. Пенцов, Е.В. Руссу, С.В. Слободчиков, В.М. Фетисова. ЖТФ, 61 (9), 173 (1991)
- K. Zdansky. Nanoscale Res. Lett., 6 (1), 490 (2011)
- J. Grym, O. Prochazkova, R. Yatskiv, K. Piksova. Nanoscale Res. Lett., 6 (392), 4 (2011)
- H.I. Chen, Y.I. Chou, C.Y. Chu. Sensors Actuators B, 85, 10 (2002)
- Е.А. Гребенщикова, В.Г. Сидоров, В.А. Шутаев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 53 (2), 246 (2019)
- Е.А. Гребенщикова, В.А. Шутаев, А.А. Капралов. Патент на изобретение N 2621879 (2016)
- G.S. Korotchenkov, N.P. Bejan. IEEE, 1, 301 (1998)
- E. Barsoukov, J. Ross Macdonald. Impedance spectroscopy: theory, experiment, and applications (Hoboken, N. J. Wiley, 2018) p. 11
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
