Прогнозирование величины захваченного заряда в захороненном оксиде кремния структур кремний-на-изоляторе с применением эффекта Пула-Френкеля
Ширяев А.А.1, Воротынцев В.М.2, Шоболов Е.Л.1
1Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева, Нижний Новгород, Россия
Email: alsh92@rambler.ru
Поступила в редакцию: 2 декабря 2019 г.
В окончательной редакции: 10 декабря 2019 г.
Принята к печати: 16 декабря 2019 г.
Выставление онлайн: 26 марта 2020 г.
Проведено исследование возможности прогнозирования с применением эффекта Пула-Френкеля величины захваченного заряда в захороненном оксиде кремния структур кремний-на-изоляторе. Путем измерения и моделирования вольт-амперных характеристик захороненного оксида кремния при разных температурах определены условия для эффекта Пула-Френкеля в этом слое. Рассмотрены процессы, протекающие в захороненном оксиде при измерении вольт-амперных характеристик и отжиге. Определены условия термополевой обработки захороненного оксида для имитации радиационного воздействия с помощью инжекции. Проведена оценка зависимости величины накопленного положительного заряда в захороненном оксиде кремния в результате инжекции от величины тока Пула-Френкеля. Показана возможность применения эффекта Пула-Френкеля для оценки дефектности захороненного оксида при изготовлении микросхем с повышенной дозовой радиационной стойкостью. Ключевые слова: кремний-на-изоляторе, оксид кремния, эффект Пула-Френкеля, инжекция носителей заряда, радиационная стойкость.
- А.А. Ширяев, В.М. Воротынцев, Е.Л. Шоболов. ФТП, 52 (9), 990 (2018)
- M. Knoll, D. Braunig, W.R. Fahrner. J. Appl. Phys., 53 (10), 6946 (1982)
- G.K. Celler, S. Cristoloveanu. J. Appl. Phys., 93 (9), 4955 (2003)
- А.А. Ширяев, В.М. Воротынцев, Е.Л. Шоболов. Электрон. техн., cер. 2. Полупроводниковые приборы, 3 (254), 29 (2019)
- F.C. Chiu. Adv. Mater. Sci. Engin., 2014, 578168 (2014)
- R.A.B. Devine. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res., Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 46 (1-4), 244 (1990)
- S.T. Pantelides, Z.-Y. Lu, C. Nicklaw, T. Bakos, S.N. Rashkeev, D.M. Fleetwood, R.D. Schrimpf. J. Non-Cryst. Solids, 354, 217 (2008)
- A.G. Revesz, G.A. Brown, H.L. Hughes. J. Electrochem. Soc., 140 (11), 3222 (1993)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
