"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами
Переводная версия: 10.1134/S106378262001025X
Тужилкин М.С. 1, Беспалова П.Г. 1, Мишин М.В. 1,2, Колесников И.Е. 3, Карабешкин К.В.1,4, Карасев П.А. 1,2, Титов А.И. 1
1Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный университет, Ресурсный центр "Оптические и лазерные методы исследования вещества", Санкт-Петербург, Россия
4Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "ЭЛАР", Санкт-Петербург, Россия
Email: Tuzhilkin.Michael.1995@yandex.ru, polinlin@mail.ru, max@mail.spbstu.ru, ilya-kolesnikov@mail.ru, yanikolaus@yandex.ru, platon.karaseov@spbstu.ru, andrei.titov@rphf.spbstu.ru
Поступила в редакцию: 23 июля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2019 г.

Исследовано образованиe наночастиц при облучении тонких металлических плeнок золота быстрыми атомарными и молекулярными ионами. Полученные структуры были использованы для получения пористого кремния методом металл-ассистируемого каталитического химического травления. Размер получаемых наночастиц золота и структура пористого кремния сильно зависят от типа и флюенса падающих частиц. Локальное повышение плотности выделения энергии у поверхности мишени при бомбардировке молекулярными ионами позволяет существенно снизить дозы, необходимые для формирования заданных морфологий плeнки и распределения наночастиц на поверхности, оказывая в то же время меньшее радиационное воздействие на подложку. Форма спектров флуоресценции и спектров возбуждения флуоресценции пористого кремния, полученного из облученных структур, не зависит от параметров облучения, но изменяется в зависимости от концентрации травящего раствора. Ключевые слова: золотые наночастицы, ионное облучение, молекулярные ионы, пористый кремний, флуоресценция.
  1. Z. Huang, N. Geyer, P. Werner, J. de Boor, U. Gosele. Adv. Mater., 23 (2), 285 (2011)
  2. R. Herizchi, E. Abbasi, M. Milani, A. Akbarzadeh. Artificial Cells, Nanomedicine, and Biotechnology, 44 (2), 1 (2014)
  3. P. Suchomel, L. Kvitek, R. Prucek, A. Panacek, A. Halder, S. Vajda, R. Zboril. Sci. Rep., 8, 4589 (2018)
  4. Y.-C. Yeh, B. Creran, V.M. Rotello. Nanoscale, 4 (6), 1871 (2012)
  5. Tai-Chia Chiu, Chih-Ching Huang. Sensors, 9, 10356 (2009)
  6. V.K. Khanna. Nanosensors: physical, chemical, and biological (Taylor \& Francis, 2012)
  7. B. Hvolb k, T.V.W. Janssens, B.S. Clausen, H. Falsig, C.H. Christensen, J.K. N rskov. Nano Today, 2 (4), 14 (2007)
  8. A. Corma, H. Garcia. Chem. Soc. Rev., 37 (9), 2096 (2008)
  9. F. Niekiel, P. Schweizer, S.M. Kraschewski, B. Butz, E. Spiecker. Acta Materialia, 90, 118 (2015)
  10. Yooseok Kim, Wooseok Song, Su-il Lee, Seung Youb Lee, Myoung-Jun Cha, Dae Sung Jung, Chong-Yun Park. Appl. Phys. Lett., 102, 223116 (2013)
  11. J. Prakash, A. Tripathi, V. Rigato, J.C. Pivin, J. Tripathi, K.H. Chae, S. Gautam, P. Kumar, K. Asokan, D.K. Avasthi. J. Phys. D: Appl. Phys., 44, 125302 (2011)
  12. R. LoSavio, L. Repetto, P. Guida et. al. Solid State Commun., 240, 41 (2016)
  13. A.I. Titov, P.A. Karaseov, A.Yu. Azarov, S.O. Kucheyev. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 267, 2701 (2009)
  14. J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 268, 1818 (2010)
  15. К.В. Карабешкин, П.А. Карасeв, А.И. Титов. ФТП, 50, 1009 (2016)
  16. A.I. Titov, P.A. Karaseov, V.S. Belyakov, K.V. Karabeshkin, A.V. Arkhipov, S.O. Kucheyev, A.Yu. Azarov. Vacuum, 86, 1638 (2012)
  17. H. Han, Z. Huang, W. Lee. Nano Today, 9, 271 (2014)
  18. Kui-Qing Peng, Xin Wang, Li Li, Ya Hu, Shuit-Tong Lee. Nano Today, 8, 75 (2013)
  19. F. Priolo, T. Gregorkiewicz, M. Galli, T.F. Krauss. Nature Nanotechnol., 9, 19 (2014)
  20. Н.Е. Корсунская, Т.В. Торчинская, Б.Р. Джумаев, Л.Ю. Хоменкова, Б.М. Булах. ФТП, 31 (8), 908 (1997)
  21. L.R. Doolittle. Nucl. Instr. Meth. B, 15, 227 (1986)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.