Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние зарядового состояния ионов ксенона на профиль распределения по глубине при имплантации в кремний

DOI: 10.21883/FTP.2019.08.47990.9108

Переводная версия: 10.1134/S1063782619080062

Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), мол-а, 18-32-00833

Балакшин Ю.В.

^1,2, Кожемяко А.В.

³, Petrovic S.⁴, Erich M.⁴, Шемухин А.А.

^1,2, Черныш В.С.

¹Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия Lomonosov Moscow State University, Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics, Moscow, Russia

Lomonosov Moscow State University, Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics, Moscow, Russia

²Центр квантовых технологий Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия Quantum technologies centre M. V. Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

Quantum technologies centre M. V. Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

³Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия Department of Physics, Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

Department of Physics, Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

⁴Институт ядерных наук Винча, Винча, Белград, Сербия Vinča Institute of Nuclear Sciences, Belgrad, Cerbia

Email: balakshiny@gmail.com

Поступила в редакцию: 19 марта 2019 г.

Выставление онлайн: 20 июля 2019 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлены экспериментальные распределения концентрации имплантированных ионов ксенона по глубине в зависимости от их зарядового состояния и энергии облучения. Ионы ксенона в зарядовых состояниях q=1-20 и с энергиями в диапазоне от 50 до 400 кэВ были внедрены в монокристаллический кремний. Облучение проводилось в направлении, не совпадающем с кристаллографическими осями кристалла для исключения эффекта каналирования. Флюенс ионов варьировался в пределах 5·(10¹⁴-10¹⁵) ион/см². Облучение однозарядными ионами и изучение образцов методом спектроскопии резерфордовского обратного рассеяния проводилось на ускорительном комплексе HVEE МГУ. Имплантация многозарядных ионов проводилась на ускорительном комплексе FAMA Института ядерных наук Винча. С помощью спектроскопии резерфордовского обратного рассеяния получены профили распределения по глубине внедренных ионов. Экспериментальные результаты сопоставлены с компьютерными расчетами. Показано, что средний проективный пробег многозарядных ионов в большинстве случаев имеет меньшие значения в сравнении со средним проективным пробегом однозарядных ионов и результатами компьютерного моделирования. Ключевые слова: ионная имплантация, многозарядные ионы, спектроскопия резерфордовского обратного рассеяния (РОР).

A. Arnau, F. Aurmayr, P.M. Echenique, M. Grether, W. Heiland, J. Limburg, R. Morgenstern, P. Roncin, S. Schippers, R. Schuch, N. Stolterfoht, P. Varga, T.J.M. Zouros, H.P. Winter. Surf. Sci. Rep., 27, 113 (1997)
T. Schenkel, A.V. Hamza, A.V. Barnes, D.H. Schneider. Progr. Surf. Sci., 61, 23 (1999)
F. Aumayr, H.P. Winter. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 233, 111 (2005)
R.A. Wilhelm, E. Gruber, J. Schwestka, R. Kozubek, T.I. Madeira, J.P. Marques, J. Kobus, A.V. Krasheninnikov, M. Schleberger, F. Aumayr. Phys. Rev. Lett., 119, 103410 (2017)
N.V. Novikov, Ya.A. Teplova. Phys. Lett. A, 378, 1286 (2014)
Yu.A. Belkova, N.V. Novikov, Ya.A. Teplova. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 343, 110 (2015)
V.A. Skuratov, J. O'Connell, A.S. Sohatsky, J. Neethling. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 327, 89 (2014)
E.G. Njoroge, C.C. Theron, J.B. Malherbe, N.G. Van der Berg, T.T. Hlatshwayo, V.A. Skuratov. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 354, 249 (2015)
E.Yu Kaniukov, J. Ustarroz, D. Yakimchuk, M.N. Petrova, H.A. Terryn, V. Sivakov, A.V. Petrov. Nanotechnology, 27, 115305 (2016)
Y. Chen, Z. Zhao, J. Dai, Y. Liu, H. Ma, R. Nie. Rad. Measurements, 43, s111 (2008)
E.V. Gafton, G. Bulai, O.F. Caltun, S. Cervera, S. Mace, M. Trassinelli, S. Steydli, D. Vernhet. Appl. Surf. Sci., 33036, 1 (2016)
E. Hug, S. Thibault, D. Chateigner, L. Maunoury. Surf. Coat. Techn., 206, 5028 (2012)
S. Thibault, E. Hug. Appl. Surf. Sci., 310, 311 (2014)
M. Tomida, Y. Kato, T. Asaji. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 237, 83 (2005)
G. Borsoni, N. Bechu, M. Gros-Jean, M.L. Korwin-Pawlowski, R. Laffitte, V.Le Roux, L. Vallier, N. Rochat, C. Wyon. Microelectronics Reliability, 41, 1063 (2001)
G. Borsoni, V. Le Roux, R. Laffitte, S. Kerdiles, N. Bechu, L. Vallier, M.L. Korwin-Pawlowski, C. Vannuffel, F. Bertin, C. Vergnaud, A. Chabli, C. Wyon. Solid-State Electron., 46, 1855 (2002)
A.E. Ieshkin, S.E. Svyakhovskiy, V.S. Chernysh. Vacuum, 148, 272 (2018)
A.E. Ieshkin, D.S. Kireev, Yu.A. Ermakov, A.S. Trifonov, D.E. Presnov, A.V. Garshev, Yu.V. Anufriev, I.G. Prokhorova, V.A. Krupenin, V.S. Chernysh. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 421, 27 (2018)
A.S. El-Said, R.A. Wilhelm, R. Heller, S. Akhmadaliev, S. Fasco. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 317, 170 (2013)
A.S. El-Said, R. Heller, S. Facsko. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 269, 901 (2011)
R. Heller, S. Facsko, R.A. Wilhelm, W. Moller. Phys. Rev. Lett., 101, 096102 (2009)
M. Tona, H. Watanabe, S. Takahashi, N. Nakamura, N. Yoshiyasu, N.M. Sakurai, T. Terui, S. Mashiko, C. Yamada, S. Ohtani. Surf. Sci., 601, 723 (2007)
B.E. O'Rourke, M. Flores, V.A. Esaulov, Y. Yamazaki. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 229, 68 (2013)
J.P. Biersack. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 80/81, 12 (1993)
R.A. Wilhelm, E. Gruber, R. Ritter, R. Heller, S. Facsko, F. Aumayr. Phys. Rev. Lett., 112 (15), 1 (2014)
P. Ernst, R. Kozubek, L. Madaub, J. Sonntag, A. Lorke, M. Schleberger. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 382, 71 (2016)
A.A. Shemukhin, A.V. Nazarov, Yu.V. Balakshin, V.S. Chernysh, Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 354, 274 (2015)
А.А. Шемухин, Ю.В. Балакшин, В.С. Черныш, С.А. Голубков, Н.Н. Егоров, А.И. Сидоров. ФТП, 48 (4), 535 (2014)
M. Erich, M. Kokkoris, S. Fazinic, S. Petrovic. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 381, 96 (2016)
M. Erich, M. Kokkoris, S. Fazinic, S. Petrovic. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 416, 89 (2018)
Ю.В. Балакшин, А.А. Шемухин, А.В. Назаров, А.В. Кожемяко, В.С. Черныш. ЖТФ, 88 (12), 1900 (2018)
J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 268, 1818 (2010)
M.T. Robinson. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 48, 408 (1990)
M.T. Robinson. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 67, 396 (1992)
P. Philipp, T. Wirtz, H.-N. Migeon, H. Scherrer. Int. J. Mass Spectrometry, 261, 91 (2007)
P. Sigmund. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 27 (1), 1 (1987)
P. Sigmund. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 406, 391 (2017)
Y. Yamamura, H. Tawara. NIFS-DATA, 23, 29 (1995)
J.F. Ziegler. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 6, 272 (1985)
А.В. Кожемяко, Ю.В. Балакшин, А.А. Шемухин, В.С. Черныш. ФТП, 51 (6), 778 (2017)
A.A. Shemukhin, A.V. Kozhemiako, Yu.V. Balakshin, V.S. Chernysh. IOP Conf. Ser.: J. Physics: Conf. Ser., 917, 1 (2017)
T. Schenkel, M.A. Briere, A.V. Barnes, A.V. Hamza, K. Bethge, H. Schmidt-Bocking, D.H. Schneider. Phys. Rev. Lett., 79 (11), 2030 (1997)
T. Schenkel, A.V. Hamza, A.V. Barnes, D.H. Schneider. Phys. Rev. A, 56 (3), 1701 (1997)
M. Behar, P.F.P. Fichter, P.L. Grande, F.C. Zawislak. Mater. Sci. Engin., R15, 1 (1995)
F. Aumayr, P. Varga, H.P. Winter. Int. J. Mass Spectrometry, 192, 415 (1999)
B.L. Oksengendler, F.G. Djurabekova, S.E. Maksimov, N.Yu. Turaev, N.N. Turaeva. Vacuum, 105, 70 (2014)
S. Meyer, A. Wucher. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 267, 646 (2009)
R. Gonzalez-Arrabal, N. Gordillo, G. Garcia, D.O. Boerma, V.A. Khodyrev. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 249 (1-2), 65 (2006)
V.A. Khodyrev, V.S. Kulikauskas, C. Yang. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 195 (3-4), 259 (2002)
P. Varga, T. Neidhart, M. Sporn, G. Libiseller, M. Schmid, F. Aumayr, H.P. Winter. Physica Scripta, T73, 307 (1997).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель