"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Микромассивы кремниевых нанопилларов: формирование и резонансное отражение света
Переводная версия: 10.1134/S1063782619020027
Басалаева Л.С.1, Настаушев Ю.В.1, Дульцев Ф.Н.1,2, Крыжановская Н.В.3, Моисеев Э.И.3
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
3Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: basalae va@isp .nsc.ru
Поступила в редакцию: 10 июля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Представлены результаты исследования спектральных характеристик отражения микромассивов кремниевых нанопилларов (Si НП) в диапазоне длин волн от 400 до 1100 нм. Кремниевые нанопиллары были сформированы методом электронной литографии на негативном резисте с последующим реактивным ионным травлением через маску из резиста и SiO2 толщиной 100 нм. В спектрах отражения микромассивов нанопилларов наблюдаются минимумы, положения которых сильно зависят от диаметра нанопилларов.
  • N. Dhindsa, J. Walia, S.S. Saini. Nanotechnology, 27 (49), 495203 (2016)
  • K.T. Fountaine, W.S. Whitney, H.A. Atwater. J. Appl. Phys., 116, 153106 (2014)
  • X. Li, J. Li, T. Chen, B.K. Tay, J. Wang, H. Yu. Nanoscale Res. Lett., 5 (11), 1721 (2010)
  • M. Khorasaninejad, M.A. Swillam, K. Pillai, S.S. Saini. Optics Lett., 37 (20), 4194 (2012)
  • S.-C. Yang, K. Richter, W.-J. Fischer. Appl. Phys. Lett., 106, 081112 (2015)
  • V. Flauraud, M. Reyes, R. Paniagua-Dominguez, A.I. Kuznetsov, J. Brugger. ACS Photonics, 4 (8), 1913 (2017)
  • Y. Kanamori, T. Ozaki, K. Hane. Optical Rev., 21 (5), 723 (2014)
  • T. Lee, J. Jang, H. Jeong, J. Rho. Nano Convergence, 5 (1), 1 (2018)
  • B. Cheong, O.N. Prudnikov, E. Cho, H.-S. Kim, J. Yu, Y.-S. Cho, H.-Y. Choi, S.T. Shin. Appl. Phys. Lett., 94 (21), 213104 (2009)
  • Y. Shen, V. Rinnerbauer, I. Wang, V. Stelmakh, J.D. Joannopoulos, M. Soljav cic. ACS Photonics, 2 (1), 27 (2015)
  • Y. Nagasaki, M. Suzuki, J. Takahara. Nano Lett., 17 (12), 7500 (2017)
  • A.B. Evlyukhin, R.L. Eriksen, W. Cheng, J. Beermann, C. Reinhardt, A. Petrov, S. Prorok, M. Eich, B.N. Chichkov, S.I. Bozhevolnyi. Sci. Rep., 4, 4126 (2014)
  • A.B. Evlyukhin, S.M. Novikov, U. Zywietz, R.L. Eriksen, C. Reinhardt, S.I. Bozhevolnyi, B.N. Chichkov. Nano Lett., 12, 3749 (2012)
  • L.S. Golobokova, Yu.V. Nastaushev, F.N. Dultsev, D.V. Gulyaev, A.B. Talochkin, A.V. Latyshev. IOP J. Phys.: Conf. Ser., 541, 012074 (2014)
  • Л.С. Голобокова, Ю.В. Настаушев, Ф.Н. Дульцев, Н.В. Крыжановская, Э.И. Моисеев, А.С. Кожухов, А.В. Латышев. ФТП, 49 (7), 961 (2015)
  • L.S. Basalaeva, Yu.V. Nastaushev, F.N. Dultsev. Materials Today: Proceedings, 4, 11341 (2017)
  • B. Hamza, A. Kadiyala, L.A. Hornak, Y. Liu, J.M. Dawson. Microelectronic Engin., 91, 70 (2012)
  • Л.С. Басалаева, Ю.В. Настаушев, Ф.Н. Дульцев, Н.В. Крыжановская, Э.И. Моисеев. Опт. и спектр., 124 (5), 695 (2018)
  • A.I. Kuznetsov, A.E. Miroshnichenko, Y.H. Fu, Jing Bo Zhang, B. Luk'yanchuk. Sci. Rep., 2, 492 (2012)
  • F.J. Bezares, J.P. Long, O.J. Glembocki, J. Guo, R.W. Rendell, R. Kasica, L. Shirey, J.C. Owrutsky, J.D. Caldwell. Opt. Express, 21 (23), 27587 (2013)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.