Вышедшие номера
Диффузионное размытие квантовых ям GaAs, выращенных при низкой температуре
Переводная версия: 10.1134/S1063782618130213
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 17-02-01168
Президиум РАН , Актуальные проблемы фотоники, зондирование неоднородных сред и материалов
Ушанов В.И.1, Чалдышев В.В.1, Преображенский В.В.2, Путято М.А.2, Семягин Б.Р.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: Decorus2009@mail.ru
Поступила в редакцию: 31 мая 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1969 г.

Методом фотолюминесцентной спектроскопии исследованы процессы диффузионного размытия периодической системы квантовых ям GaAs, разделенных барьерами AlGaAs, выращенной методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой температуре (200oC) и дополнительно легированной изовалентными примесями Sb и P. Отжиг при температуре 750oC в течение 30 мин после роста приводил к увеличению энергии пика фотолюминесценции экситонного состояния e1-hh1 в квантовых ямах вследствие размытия эпитаксиальных интерфейсов GaAs/AlGaAs, вызванных усиленной взаимодиффузией атомов Al-Ga по катионной подрешетке. Для профиля концентрации Al в квантовых ямах, определяемого линейной диффузией, было решено уравнение Шредингера для электронов и дырок. Оказалось, что экспериментально наблюдаемое энергетическое положение пика фотолюминесценции соответствует длине взаимной диффузии Al-Ga 3.4 нм и эффективному коэффициенту диффузии 6.3· 10-17 см2/c для температуры 750oC. Полученное значение оказалось близким к значению для квантовых ям GaAs, выращенных при низкой температуре без дополнительного легирования примесями Sb и P. Полученные результаты позволяют сделать вывод о незначительном влиянии усиленной взаимодиффузии As-Sb и As-P в анионной подрешетке на процессы взаимодиффузии Al-Ga по катионной подрешетке.