Вышедшие номера
Дельта-легирование соединениями марганца гетероструктур на основе GaAs
Моисеев К.Д. 1, Неведомский В.Н.1, Kudriavtsev Yu.2, Escobosa-Echavarria A.2, Lopez-Lopez M.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Dep. Ingenieria Electrica-SEES, Cinvestav-IPN, Mexico
3Dep. Fi sica, Cinvestav-IPN, Mexico
Email: mkd@iropt2.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 2 февраля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2017 г.

Гетероструктуры с квантовыми ямами GaAs/InGaAs/GaAs, легированные пространственно удаленными моноатомными слоями Mn, были получены на подложке GaAs(001) в режиме монослойного наращивания методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Комбинированные исследования полученных образцов были проведены при помощи метода вторичной ионной масс-спектрометрии, рентгено-дифракционных измерений и с использованием просвечивающего электронного микроскопа. Исследуемые гетероструктуры с концентрацией легирующей примеси 0.5 монослоя были упруго напряжены и демонстрировали планарные четкие границы раздела без видимых протяженных и точечных дефектов. Предложена методика визуализации распределения концентрации марганца в трехмерной матрице GaAs вблизи квантовой ямы. Согласно экспериментальным результатам существует вероятность диффузии марганца в квантовую яму GaAs/InGaAs/GaAs при уменьшении критической толщины буферного слоя GaAs менее 3 нм. Работа была выполнена при частичной поддержке проекта РФФИ (N 15-02-08909). DOI: 10.21883/FTP.2017.09.44882.8534