"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Изменение проводимости тонких пленок селенида свинца после плазменного травления
Зимин С.П.1, Амиров И.И.2, Наумов В.В. 2
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
2Ярославский филиал Физико-технологического института Российской академии наук, Ярославль, Россия
Email: ildamirov@yandex.ru, vvnau@rambler.ru
Поступила в редакцию: 2 февраля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2016 г.

Проведено изучение электропроводности тонких эпитаксиальных пленок n-PbSe и p-PbSe после процесса сухого травления в аргоновой плазме высокочастотного индукционного разряда низкого давления при энергии бомбардирующих ионов 200 эВ. Показано, что наблюдаемые изменения хорошо объясняются в рамках классической модели возникновения радиационных дефектов донорного типа, а процессы пострадиационного отжига в вакууме приводят к устранению таких дефектов. В рамках теории Фукса-Зондгеймера определены величины длины свободного пробега носителей заряда в пленках p-PbSe, которые при комнатной температуре составили 16 и 32 нм для параметра зеркальности 0 и 0.5 соответственно.
  • Lead Chalcogenides: Physics and Application, ed. by D. Khokhlov (N.Y., Taylor \& Francis, 2003)
  • С.П. Зимин, Е.С. Горлачев. Наноструктурированные халькогениды свинца (Ярославль, Изд-во ЯрГУ, 2011).
  • O.E. Semonin, J.M. Luther, M.C. Beard. Materials Today, 15 (11), 508 (2012)
  • L. Zhang, Y. Zhang, S.V. Kershaw, Y. Zhao, Y. Wang, Y. Jiang, T. Zhang, W.W. Yu, P. Gu, Y. Wang, H. Zhang, A.L. Rogach. Nanotechnology, 25, 105 704 (2014)
  • L. Etgar, E. Lifshitz, R. Tannenbaum. J. Phys. Chem. C, 111, 6238 (2007)
  • J. Androulakis, I. Todorov, J. He, D.-Y. Chung, V. Dravid, M. Kanatzidis. J. Am. Chem. Soc., 133, 10 920 (2011)
  • С.П. Зимин, Е.С. Горлачев, И.И. Амиров, В.В. Наумов. Письма ЖТФ, 37 (19), 80 (2011)
  • S.P. Zimin, E.S. Gorlachev, I.I. Amirov. Semicond. Sci. Technol., 26, 55 018 (2011)
  • M. Rahim, A. Khiar, M. Fill, F. Felder, H. Zogg. Electron. Lett., 47, 1037 (2011)
  • S.P. Zimin, E.S. Gorlachev, I.I. Amirov, H. Zogg. J. Phys. D.: Appl. Phys., 42, 165 205 (2009)
  • L. Palmetshofer. Appl. Phys. A, 34, 139 (1984)
  • R.L. Petritz. Phys. Rev., 110, 1254 (1958)
  • R.F. Egerton, C. Juhasz. Thin Solid Films, 4, 239 (1969)
  • G.F. McLane, J.N. Zemel. Thin Solid Films, 7, 229 (1971)
  • Е.И. Рогачева, О.Н. Нащекина, С.И. Ольховская, М.С. Дресселхаус. Термоэлектричество, N 4, 27 (2012). [J. Termoelectricity, N 4, 25 (2012)]
  • Р.Ф. Зайкина, С.П. Зимин, Ш.Ш. Сарсембинов, Л.В. Бочкарева. ФТП, 28, 1916 (1994)
  • Технология тонких пленок, под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга (М., Советское радио, 1977) т. 2, с. 313. [Пер. с англ.: Handbook of Thin Film Technology, ed. by L.I. Maissel, R. Glang (N.Y., McGraw Hill, 1970) v. 2]
  • M.H. Brodsky, J.N. Zemel. Phys. Rev.,  155, 780 (1967)
  • О.А. Александрова, Р.Ц. Бондоков, И.В. Саунин, Ю.М. Таиров. ФТП, 32, 1064 (1998)
  • О.А. Александрова, А.Т. Ахмеджанов, Р.Ц. Бондоков, В.А. Мошников, И.В. Саунин, Ю.М. Таиров, В.И. Штанов, Л.В. Яшина. ФТП, 34, 1420 (2000).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.