"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Изменение проводимости тонких пленок селенида свинца после плазменного травления
Зимин С.П.1, Амиров И.И.2, Наумов В.В. 2
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
2Ярославский филиал Физико-технологического института Российской академии наук, Ярославль, Россия
Email: ildamirov@yandex.ru, vvnau@rambler.ru
Поступила в редакцию: 2 февраля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2016 г.

Проведено изучение электропроводности тонких эпитаксиальных пленок n-PbSe и p-PbSe после процесса сухого травления в аргоновой плазме высокочастотного индукционного разряда низкого давления при энергии бомбардирующих ионов 200 эВ. Показано, что наблюдаемые изменения хорошо объясняются в рамках классической модели возникновения радиационных дефектов донорного типа, а процессы пострадиационного отжига в вакууме приводят к устранению таких дефектов. В рамках теории Фукса-Зондгеймера определены величины длины свободного пробега носителей заряда в пленках p-PbSe, которые при комнатной температуре составили 16 и 32 нм для параметра зеркальности 0 и 0.5 соответственно.
  1. Lead Chalcogenides: Physics and Application, ed. by D. Khokhlov (N.Y., Taylor \& Francis, 2003)
  2. С.П. Зимин, Е.С. Горлачев. Наноструктурированные халькогениды свинца (Ярославль, Изд-во ЯрГУ, 2011).
  3. O.E. Semonin, J.M. Luther, M.C. Beard. Materials Today, 15 (11), 508 (2012)
  4. L. Zhang, Y. Zhang, S.V. Kershaw, Y. Zhao, Y. Wang, Y. Jiang, T. Zhang, W.W. Yu, P. Gu, Y. Wang, H. Zhang, A.L. Rogach. Nanotechnology, 25, 105 704 (2014)
  5. L. Etgar, E. Lifshitz, R. Tannenbaum. J. Phys. Chem. C, 111, 6238 (2007)
  6. J. Androulakis, I. Todorov, J. He, D.-Y. Chung, V. Dravid, M. Kanatzidis. J. Am. Chem. Soc., 133, 10 920 (2011)
  7. С.П. Зимин, Е.С. Горлачев, И.И. Амиров, В.В. Наумов. Письма ЖТФ, 37 (19), 80 (2011)
  8. S.P. Zimin, E.S. Gorlachev, I.I. Amirov. Semicond. Sci. Technol., 26, 55 018 (2011)
  9. M. Rahim, A. Khiar, M. Fill, F. Felder, H. Zogg. Electron. Lett., 47, 1037 (2011)
  10. S.P. Zimin, E.S. Gorlachev, I.I. Amirov, H. Zogg. J. Phys. D.: Appl. Phys., 42, 165 205 (2009)
  11. L. Palmetshofer. Appl. Phys. A, 34, 139 (1984)
  12. R.L. Petritz. Phys. Rev., 110, 1254 (1958)
  13. R.F. Egerton, C. Juhasz. Thin Solid Films, 4, 239 (1969)
  14. G.F. McLane, J.N. Zemel. Thin Solid Films, 7, 229 (1971)
  15. Е.И. Рогачева, О.Н. Нащекина, С.И. Ольховская, М.С. Дресселхаус. Термоэлектричество, N 4, 27 (2012). [J. Termoelectricity, N 4, 25 (2012)]
  16. Р.Ф. Зайкина, С.П. Зимин, Ш.Ш. Сарсембинов, Л.В. Бочкарева. ФТП, 28, 1916 (1994)
  17. Технология тонких пленок, под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга (М., Советское радио, 1977) т. 2, с. 313. [Пер. с англ.: Handbook of Thin Film Technology, ed. by L.I. Maissel, R. Glang (N.Y., McGraw Hill, 1970) v. 2]
  18. M.H. Brodsky, J.N. Zemel. Phys. Rev.,  155, 780 (1967)
  19. О.А. Александрова, Р.Ц. Бондоков, И.В. Саунин, Ю.М. Таиров. ФТП, 32, 1064 (1998)
  20. О.А. Александрова, А.Т. Ахмеджанов, Р.Ц. Бондоков, В.А. Мошников, И.В. Саунин, Ю.М. Таиров, В.И. Штанов, Л.В. Яшина. ФТП, 34, 1420 (2000).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.