"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Компенсация проводимости n-4H-SiC (CVD) при облучении электронами с энергией 0.9 МэВ
Козловский В.В.1, Лебедев А.А.2, Ломасов В.Н.1, Богданова Е.В.2, Середова Н.В.2
1Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 19 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 21 июля 2014 г.

Методами вольт-фарадных характеристик и фотолюминесценции исследовано воздействие электронного облучения в n-4H-SiC. Обнаружено, что скорость удаления носителей составила Vd~0.25 см-1. Полная компенсация проводимости образцов с исходной концентрацией (1-2)· 1015 см-2 наблюдалась при дозах облучения ~5· 1015 см-2. Одновременно с ростом компенсации увеличивалась интенсивность характерной для 4H-SiC "дефектной" люминесценции. Проведено сравнение параметров образца до облучения и после облучения и отжига. Анализируются физические механизмы компенсации исследовавшихся образцов.
  • M. Weidner, T. Frank, G. Pensl, A. Kawasuso, H. Itoh, R. Krause-Rehberg. Physica B, 308--310, 633 (2001)
  • L. Storasta, J.P. Bergman, E. Janzen, A. Henry, J. Li. J. Appl. Phys., 96, 4909 (2004)
  • G. Alferi, E.V. Monakhov, B.G. Svensson, A.Hallen. J.Appl.Phys., 98, 113 524 (2005)
  • A. Castaldini, A. Cavallini, L. Rigutti, F. Nava, S. Ferrero, F. Giorgis. J. Appl. Phys., 98 053 706 (2005)
  • M. Asghar, I. Hussain, N.S. Noor, F. Iqbal, Q. Wahab, A.S. Bhatti. J. Appl. Phys., 101, 073 706 (2007)
  • H. Kaneko, T. Kimoto. Appl. Phys. Lett., 98, 262 106 (2011)
  • F.C. Beyer, C. Hemmingsson, H. Pedersen, A. Henry, E. Janzen, J. Isoya, N. Morishita, T. Ohshima. J. Appl. Phys., 109, 103 703 (2011)
  • А.А. Лебедев. ФТП, 33 (2), 129 (1999)
  • D. Aberg, A. Hallen, P. Pellegrino, B.G. Swensson. Appl. Phys. Lett., 78, 2908 (2001)
  • А.А. Лебедев, В.В. Козловский, Н.Б. Строкан, Д.В. Давыдов, А.М. Иванов, А.М. Стрельчук, Р. Якимова. ФТП, 36 (11), 1354 (2002)
  • M. Mikelsen, U. Grossner, J.H. Bleka, E.V. Monakhov, B.G. Svensson, R. Yakimova, A. Henry, E. Janzen, A.A. Lebedev. Mater. Sci. Forum, 600--603, 425 (2009)
  • D.V. Davydov, A.A. Lebedev, V.V. Kozlovski, N.S. Savkina, A.M. Strel'chuk. Physica B: Condens. Matter, 308, 641 (2001)
  • A.M. Strel'chuk, V.V. Kozlovski, N.S. Savkina, M.G. Rastegaeva, A.N. Andreev. Mater. Sci. Engin. B, 61--62, 441 (1999)
  • A. Castaldini, A. Cavallini, L. Rigutti. Semicond. Sci. Technol., 21, 724 (2006)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.