"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Светоизлучающие слои твердого раствора кремний--германий, легированные эрбием в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии
Шенгуров В.Г.1, Светлов С.П.1, Чалков В.Ю.1, Андреев Б.А.2, Красильник З.Ф.2, Бэр Б.Я.3, Дроздов Ю.Н.2, Яблонский А.Н.2
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета, Нижний Новгород, Россия
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 8 ноября 2001 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2002 г.

Эпитаксиальные слои Si1-xGex, легированные эрбием, выращены методом сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии в атмосфере германа. Легирование эрбием осуществляли в процессе роста из монокристаллического Si : Er. Граница раздела Si/Si1-xGex (0.01=<q x=<q 0.09) исследована методом масс-спектрометрии вторичных ионов. Для Er и Ge наблюдались резкие границы распределения и значительное снижение их поверхностной сегрегации. Это означало, что водород выступает в роли "сурфактанта". Получены результаты по люминесцентным свойствам образцов Si/Si1-xGex, легированных эрбием.
  • H. Ennen, G. Pomrenke, A. Axmann, K. Eisele, W. Haude, J. Schneider. Appl. Phys. Lett., 46, 381 (1985)
  • J. Stimmer, A. Reittinger, G. Abstreiter, H. Holrbrecher, Ch. Buchal. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 422, 15 (1995)
  • E. Neuteld, A. Sticht, A. Luigan, K. Brumer, G. Abstreiter. Appl. Phys. Lett., 73 (21), 3061 (1998)
  • R. Serna, M. Lohmeier, P.M. Zagviin, E. Vlieg, A. Polman. Appl. Phys. Lett., 66, 1385 (1995)
  • K. Miyashito, Y. Shiraki, D.C. Hougton, S. Fukatsu. Appl. Phys. Lett., 67 (2), 235 (1995)
  • N. Ohtani, S. Mokler, M.H. Xie, J. Zhang, B.A. Joyce. Japan. J. Appl. Phys., 33, 2311 (1994)
  • С.П. Светлов, В.Г. Шенгуров, В.Ю. Чалков, З.Ф. Красильник, Б.А. Андреев, Ю.Н. Дроздов. Изв. РАН, сер. физ., 65 (2), 204 (2001)
  • В.Г. Шенгуров, С.П. Светлов, В.Ю. Чалков, Г.А. Максимов, З.Ф. Красильник, Б.А. Андреев, М.В. Степихова, Д.В. Шенгуров, L. Palmetshofer, H. Ellmer. ФТП, 35 (8), 954 (2001)
  • G.E. Becker, J.C. Bean. J. Appl. Phys., 48, 3395 (1997)
  • H. Wado, T. Shimizu, M. Ishida, T. Nakamura. J. Cryst. Growth, 147, 320 (1995)
  • R. Sauer, J. Weber, J. Stolz, E.R. Weber, K.-H. Kusters, H. Alexander. Appl. Phys. A, 36, 1 (1985)
  • H. Przybylinska, W. Yantsch, Yu. Suprin-Belevitch, M. Stepikhova, L. Palmetshofer, G. Hendorfer, A. Kozanecki, R.J. Wilson, B.J. Sealy. Phys. Rev. B, 54, 2532 (1996)
  • Б.А. Андреев, З.Ф. Красильник, В.П. Кузнецов, А.О. Солдаткин, М.С. Бреслер, О.Б. Гусев, И.Н. Яссиевич. ФТТ, 43 (6), 979 (2001)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.