"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Радиационная проводимость в самоупорядоченных кремниевых квантовых ямах
Андронов А.Н.1, Баграев Н.Т.2, Клячкин Л.Е.2, Маляренко А.М.2, Робозеров С.В.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 20 ноября 1998 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1999 г.

Электронно-лучевая диагностика используется для изучения самоупорядоченных квантовых ям, которые формируются внутри сверхмелких кремниевых p+-n-переходов в условиях неравновесной диффузии бора. Исследуется энергетическая зависимость и вольт-амперные характеристики коэффициента радиационной проводимости при относительном доминировании как продольных, так и поперечных квантовых ям, ориентированных соответственно параллельно и перпендикулярно плоскости p-n-перехода. Вольт-амперные характеристики радиационной проводимости впервые демонстрируются как при обратном, так и при прямом смещении кремниевого p+-n-перехода, что стало возможным благодаря наличию самоупорядоченных поперечных квантовых ям внутри сверхмелкого p+-диффузионного профиля, тогда как самоупорядоченные продольные квантовые ямы способствуют возникновению радиационной проводимости только при обратном смещении p+-n-перехода. Распределение по глубине кристалла вероятности разделения электронно-дырочных пар, полученное с помощью энергетических зависимостей радиационной проводимости, идентифицирует эффекты ударного размножения неравновесных носителей вследствие пространственного разделения электронов и дырок в поле p+-n-перехода, содержащего самоупорядоченные поперечные квантовые ямы.
  • N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, A. Naeser. Def. Dif. Forum, 143--147, 1003 (1997)
  • N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, V.L. Sukhanov. Def. Dif. Forum, 103--105, 192 (1993)
  • W. Frank, U. Gosele, H. Mehrer, A. Seeger. Diffusion in Crystalline Solids (Academic Press, 1984) p. 63
  • E. Antoncik. J. Electrochem. Soc., 141, 3593 (1994)
  • R.B. Fair. Dif. and Def. Data, 37, 1 (1984)
  • Н.Т. Баграев, Е.В. Владимирская, В.Э. Гасумянц, В.И. Кайданов, В.В. Кведер, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, Е.И. Чайкина. ФТП, 29, 2133 (1995)
  • N.T. Bagraev, E.I. Chaikina, L.E. Klyachkin, I.I. Markov, W. Gehlhoff. Superlat. Microstruct., 23, 338 (1998)
  • N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, A. Naeser. Mater. Sci. Forum, 258--263, 1607 (1997)
  • А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, С.В. Робозеров. ФТП, 32, 137 (1998)
  • А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, С.В. Робозеров. ФТП, 33, 46 (1999)
  • P.S. Zalm. Rep. Progr. Phys., 58, 1321 (1995)
  • Е.Н. Пятышев, Д.В. Кузичев. Измер. техника, N 9, 3 (1991)
  • А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, С.В. Робозеров, Н.С. Фараджев. ФТП, 28, 2049 (1994)
  • N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, A. Naeser. Mater. Sci. Forum, 258--263, 1683 (1997)
  • W. Gehlhoff, K. Irmscher, N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko. Proc. of the IC--SLCS, ed. by C.A.J. Ammerlaan and B. Pajot (World Scientific, Singapore, 1997) p. 227
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.