Вышедшие номера
Радиационная проводимость в самоупорядоченных кремниевых квантовых ямах
Андронов А.Н.1, Баграев Н.Т.2, Клячкин Л.Е.2, Маляренко А.М.2, Робозеров С.В.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 20 ноября 1998 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1999 г.

Электронно-лучевая диагностика используется для изучения самоупорядоченных квантовых ям, которые формируются внутри сверхмелких кремниевых p+-n-переходов в условиях неравновесной диффузии бора. Исследуется энергетическая зависимость и вольт-амперные характеристики коэффициента радиационной проводимости при относительном доминировании как продольных, так и поперечных квантовых ям, ориентированных соответственно параллельно и перпендикулярно плоскости p-n-перехода. Вольт-амперные характеристики радиационной проводимости впервые демонстрируются как при обратном, так и при прямом смещении кремниевого p+-n-перехода, что стало возможным благодаря наличию самоупорядоченных поперечных квантовых ям внутри сверхмелкого p+-диффузионного профиля, тогда как самоупорядоченные продольные квантовые ямы способствуют возникновению радиационной проводимости только при обратном смещении p+-n-перехода. Распределение по глубине кристалла вероятности разделения электронно-дырочных пар, полученное с помощью энергетических зависимостей радиационной проводимости, идентифицирует эффекты ударного размножения неравновесных носителей вследствие пространственного разделения электронов и дырок в поле p+-n-перехода, содержащего самоупорядоченные поперечные квантовые ямы.