"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Радиационная проводимость в самоупорядоченных кремниевых квантовых ямах
Андронов А.Н.1, Баграев Н.Т.2, Клячкин Л.Е.2, Маляренко А.М.2, Робозеров С.В.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 20 ноября 1998 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1999 г.

Электронно-лучевая диагностика используется для изучения самоупорядоченных квантовых ям, которые формируются внутри сверхмелких кремниевых p+-n-переходов в условиях неравновесной диффузии бора. Исследуется энергетическая зависимость и вольт-амперные характеристики коэффициента радиационной проводимости при относительном доминировании как продольных, так и поперечных квантовых ям, ориентированных соответственно параллельно и перпендикулярно плоскости p-n-перехода. Вольт-амперные характеристики радиационной проводимости впервые демонстрируются как при обратном, так и при прямом смещении кремниевого p+-n-перехода, что стало возможным благодаря наличию самоупорядоченных поперечных квантовых ям внутри сверхмелкого p+-диффузионного профиля, тогда как самоупорядоченные продольные квантовые ямы способствуют возникновению радиационной проводимости только при обратном смещении p+-n-перехода. Распределение по глубине кристалла вероятности разделения электронно-дырочных пар, полученное с помощью энергетических зависимостей радиационной проводимости, идентифицирует эффекты ударного размножения неравновесных носителей вследствие пространственного разделения электронов и дырок в поле p+-n-перехода, содержащего самоупорядоченные поперечные квантовые ямы.
  1. N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, A. Naeser. Def. Dif. Forum, 143--147, 1003 (1997)
  2. N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, V.L. Sukhanov. Def. Dif. Forum, 103--105, 192 (1993)
  3. W. Frank, U. Gosele, H. Mehrer, A. Seeger. Diffusion in Crystalline Solids (Academic Press, 1984) p. 63
  4. E. Antoncik. J. Electrochem. Soc., 141, 3593 (1994)
  5. R.B. Fair. Dif. and Def. Data, 37, 1 (1984)
  6. Н.Т. Баграев, Е.В. Владимирская, В.Э. Гасумянц, В.И. Кайданов, В.В. Кведер, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, Е.И. Чайкина. ФТП, 29, 2133 (1995)
  7. N.T. Bagraev, E.I. Chaikina, L.E. Klyachkin, I.I. Markov, W. Gehlhoff. Superlat. Microstruct., 23, 338 (1998)
  8. N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, A. Naeser. Mater. Sci. Forum, 258--263, 1607 (1997)
  9. А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, С.В. Робозеров. ФТП, 32, 137 (1998)
  10. А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, А.М. Маляренко, С.В. Робозеров. ФТП, 33, 46 (1999)
  11. P.S. Zalm. Rep. Progr. Phys., 58, 1321 (1995)
  12. Е.Н. Пятышев, Д.В. Кузичев. Измер. техника, N 9, 3 (1991)
  13. А.Н. Андронов, Н.Т. Баграев, Л.Е. Клячкин, С.В. Робозеров, Н.С. Фараджев. ФТП, 28, 2049 (1994)
  14. N.T. Bagraev, W. Gehlhoff, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko, A. Naeser. Mater. Sci. Forum, 258--263, 1683 (1997)
  15. W. Gehlhoff, K. Irmscher, N.T. Bagraev, L.E. Klyachkin, A.M. Malyarenko. Proc. of the IC--SLCS, ed. by C.A.J. Ammerlaan and B. Pajot (World Scientific, Singapore, 1997) p. 227

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.