Вышедшие номера
Определение диффузионной длины неосновных носителей заряда в полупроводнике по динамическим неравновесным вольт-амперным характеристикам МДП структур
Попов В.М.1
1Научно-исследовательский институт микроприборов, НТК "Институт монокристаллов" Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 5 августа 2013 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2014 г.

Предложен метод определения диффузионной длины неосновных носителей заряда Lde в полупроводнике по динамическим неравновесным вольт-амперным характеристикам МДП структур. Метод позволяет исключить влияние объемной генерации в полупроводнике на Lde и снизить температуру измерений. Показана возможность исследования эффективного профиля Lde в приповерхностном слое полупроводника при неоднородном распределении электрически активных дефектов по глубине материала. Исследованы значения Lde в МДП структурах на кремнии, применяемых в технологии интегральных схем. Рассмотрено влияние внутреннего геттерирования дефектов в кремнии и облучения МДП структур низкоэнергетическими электронами (10-30 кэВ) на эффективные профили Lde в приповерхностном слое полупроводника.