Вышедшие номера
Особенности деградации полуизолирующего арсенида галлия при термообработках
Айбазов И.Ф.1, Михрин С.Б.1, Саморуков Б.Е.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет,, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 июня 1994 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1994 г.

Исследовано изменение при термообработке удельного сопротивления приповерхностного слоя в нелегированном высокоомном GaAs, выращенном по методу Чохральского. Термообработка проводилась при температурах до 850o C в парах мышьяка при давлениях 0.1, 1.0, 5.0 атм. Результаты интерпретируются с привлечением собственных точечных дефектов V Ga и As Ga.