"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Проводимость инверсионных слоев и температурная зависимость плотности поверхностных состояний в МДП структурах
Гергель В.А.1, Шпатаковская Г.В.1
1Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина,, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 24 марта 1992 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1993 г.

Исследовано влияние статистических флуктуаций плотности встроенного заряда на поверхностную проводимость инверсионных слоев в МДП структурах. Рассматриваемые флуктуации заряда индуцируют в приграничном слое полупроводника случайный потенциальный рельеф, в окрестностях минимумов которого формируются связанные (локализованные) электронные состояния. Часть электронов инверсионного слоя захватывается на эти состояния, образуя локализованный заряд. Подвижный, делокализованный заряд составляют электроны с энергиями выше уровня протекания --- среднего поверхностного потенциала. В квазиклассическом приближении путем усреднения по флуктуациям потенциала рассчитаны зависимости связанного и свободного зарядов от температуры и изгиба зон. Показано, что при T<<Delta (характерной энергии флуктуаций) с ростом полного заряда инверсионного слоя сначала происходит заполнение связанных состояний, а уже затем свободных, что обусловливает соответствующий сдвиг порога зависимости поверхностной проводимости от управляющего напряжения на электроде МДП структуры. Напротив, при высоких температурах практически весь инверсионный заряд подвижен. Установлено, что в области промежуточных температур 2Delta>T>Delta/2 (этот диапазон может составлять несколько сот градусов) подвижная и связанная компоненты полного заряда инверсионного слоя изменяются пропорционально друг другу, что на эксперименте проявляется как заметное уменьшение эффективной поверхностной подвижности электронов по сравнению с ее объемными значениями.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.