ФТП, 2010, том 44, выпуск 4

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние энергетических параметров осаждаемого лазерно-инициированного потока атомов платины на характеристики тонкопленочной структуры Pt/n-6H-SiC

В.Ю.Фоминский , Р.И.Романов, А.Г.Гнедовец, В.В.Зуев, М.В.Демин

Национальный исследовательский ядерный университет \glqq МИФИ\grqq,
115409 Москва, Россия

(Получена 2 сентября 2009 г. Принята к печати 10 сентября 2009 г.)

Проведены экспериментальные исследования особенностей формирования пленок платины на подложках n-6H-SiC при реализации различных способов импульсного лазерного осаждения. Осаждение проводилось как в вакууме традиционным способом, так и в инертной газовой среде с применением дискового экрана, устанавливаемого на оси разлета факела между лазерной мишенью и подложкой для защиты подложки от частиц микронных и субмикронных размеров. Разработана компьютерная модель такого процесса, которая позволяет прогнозировать распределение осаждаемой пленки по поверхности подложки, энергетические и угловые параметры атомарного потока при варьировании свойств лазерного факела, давления инертного газа и расположения экрана. Результаты моделирования использовались для объяснения электрических свойств тонкопленочных структур Pt/n-6H-SiC, полученных различными способами.

 PDF версия (980Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster