ФТП, 2010, том 44, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Метод измерения скорости поверхностной рекомбинации в кремниевых пластинах по их тепловому излучению

В.В.Богатыренко

Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева
Национальной академии наук Украины,
03028 Киев, Украина

(Получена 30 июля 2009 г. Принята к печати 20 августа 2009 г.)

Предложен бесконтактный метод измерения скорости поверхностной рекомбинации в кремниевых пластинах, основанный на изучении зависимости мощности теплового излучения кремния за краем собственного поглощения от длины волны возбуждающего света из области собственного поглощения. Скорость поверхностной рекомбинации при различных обработках поверхности определялась по отношению интенсивностей теплового излучения пластин в диапазоне длин волн 3--5 мкм, возникающего при возбуждении двумя лазерными диодами с длинами волн 863 и 966 нм. Измеренные значения скоростей при 230oC составили порядка 104 см/с после механической полировки и 103 см/с после травления в CP-4A. Рассмотрены вопросы применимости метода и погрешности измерения в зависимости от параметров пластин и источников света.

 PDF версия (555Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster