ФТП, 2010, том 44, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние термического окисления на перенос носителей заряда в наноструктурированном кремнии

Е.А.Агафонова+, М.Н.Мартышов+, П.А.Форш+*,
В.Ю.Тимошенко+*, П.К.Кашкаров+*

+ Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова,
119992 Москва, Россия
* Российский научный центр \glqq Курчатовский институт\grqq,
123182 Москва, Россия

(Получена 23 июня 2009 г. Принята к печати 30 июля 2009 г.)

Исследовано влияние кратковременного отжига на воздухе на проводимость пористого кремния в двух различных направлениях (вдоль и перпендикулярно поверхности образцов). Изучаемые в работе образцы получались методом электрохимического травления монокристаллических пластин кремния с ориентацией поверхности (100). Обнаружено, что термическое окисление оказывает различное влияние на проводимость слоев пористого кремния, измеряемую перпендикулярно и вдоль поверхности образцов: на окисленных образцах проводимость перпендикулярно поверхности заметно выше проводимости вдоль нее. Полученные результаты объяснены на основе модели переноса носителей заряда, учитывающей наличие потенциальных барьеров на границах кремниевых нанокристаллов.

 PDF версия (564Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster