ФТП, 2009, том 43, выпуск 9

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Об оптимизации структурного совершенства слитков карбида кремния политипа 4H

Д.Д.Авров, С.И.Дорожкин, А.О.Лебедев\kern1pt, Ю.М.Таиров, А.С.Трегубова\kern1pt*, А.Ю.Фадеев

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет \glqq ЛЭТИ\grqq им. В.И. Ульянова (Ленина),
197376 Санкт-Петербург, Россия
* Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 12 марта 2009 г. Принята к печати 18 марта 2009 г.)

Улучшение структурного совершенства слитков карбида кремния политипа 4H, выращенных модифицированным методом Лели, достигнуто в многостадийном процессе при последовательной смене ориентации затравок (аналогично представленному ранее в литературе RAF-процессу). Выращенные слитки диаметром 20-40 мм характеризуются практически полным отсутствием периферических малоугловых границ, а также значительным снижением плотности микропор (2-3 порядка величины по сравнению с исходным материалом). Повторное разращивание полученных затравок с ориентацией (0001)C до 50-55 мм в диаметре приводит к незначительному ухудшению структурного совершенства во вновь генерируемых периферических областях слитка. Получены качественные образцы пластин карбида кремния, характеризующихся плотностью микропор 5-40 см-2 и базисных дислокаций 103-104 см-2.

PACS: 61.72Bb, 61.72.Dd, 61.72.Mm, 81.05Hd, 81.10Bk

 PDF версия (3.3Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster